Детально исследован процесс аэрозольного нанесения детонационных наноалмазов (ДНА) на кремниевую подложку и продемонстрирована возможность последующего выращивания на подложках с ДНА нанокристаллических алмазных пленок и изолированных частиц. Показано, что, изменяя время нанесения и весовую концентрацию ДНА в суспензии в диапазоне 0.001-1%, возможно изменять форму агломератов ДНА и их число на единицу площади поверхности подложки (Ns) от 108 до 1011 cm-2. Методом микроволнового плазмохимического осаждения из газовой фазы на подложке с осажденными агломератами ДНА с Ns~108 cm-2 выращены субмикронные изолированные алмазные частицы. При Ns~1010 cm-2 выращены тонкие (~100 nm) наноалмазные пленки со среднеквадатичной шероховатостью поверхности, не превышающей 15 nm.
Вуль А.Я., Алексенский А.Е., Дидейкин А.Т. // Энциклопедия систем жизнеобеспечения. Нанонаука и нанотехнологии., М.: Издательский дом МАГИСТР-ПРЕСС, 2009. С. 832--857
Даниленко В.В. Синтез и спекание алмазов взрывом. М.: Энергоатомиздат, 2003. С. 272
Долматов В.Ю. Ультрадисперсные алмазы детонационного синтеза. Получение, свойства, применения. СПб.: Изд-во Санкт-Петербургского политехнического университета, 2003
Baidakova M., Vul' A. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. Vol. 40. P. 6300
Daulton T.L. // Nanodiamonds in the Cosmos. Microstuctures and trapped element isotopic data. Synthesis, Properties and Applications of Ultrananocrystalline Diamond. Springer, 2005. P. 49--62
Baidakova M.V., Siklitsky V.I., Vul' A.Ya. // Chaos, Solitions\& Fractals. 1999. Vol. 10. P. 2153
Nanodiamonds: Applications in Biology and Nanoscale Medicine. Spinger, 2009. 250 P
Качевский С.А., Голубина Е.В., Локтева Е.С., Лунин В.В. // Журн. физ. химии. 2007. Т. 81. С. 998
Vershinin N.N., Efimov O.N., Bakaev V.A. et al. // Detonation nanodiamonds as catalyst supports. Fullerenes, Nanotubes and Carbon nanoclusters. 2010. Vol. 18. N 4--6
Spitsyn B.V., Denisov S.A., Skorik N.A. et al. // Diamond Relat. Mater. 2010. Vol. 19. P. 123
Basov A.A., Rahn M., Pars M et al. // Phys. Stat. Sol. (a). 2009. Vol. 206. P. 2009
Pichot V., Bonnot K., Piazzon N et al. // Diamond Relat. Mater. 2010. Vol. 19. P. 479
Konov V.I., Smolin A.A., Ralchenko V.G. et al. Diamond Relat. Mater. 1995. Vol. 4. P. 1073
Makita H., Nishimura K., Jiang N. et al. // Thin Sol. Films. 1996. Vol. 281--282. P. 279
Philip J., Hess P., Feygelson T. et al. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 93. N. 4. P. 2164
Feoktistov N.A., Golubev V.G., Grudinkin S.A., Perova T.S., Vul' A.Ya. Synthesis, Properties and Application of Ultrananocrystalline Deamond. Springer, 2005. P. 145--156
Feoktistov N.A., Golubev V.G., Grudinkin S.A., Perova T.S., Moore R.A., Vul' A.Ya. // Proc. DPIE. Opto-Ireland 2005: Nanotechnology and Nanophotonics. Vol. 5824. P. 157--164
Williams O.A., Douheret O., Daenen M. et al. Chem. Phys. Lett. 2007. Vol. 445. P. 255
Sumant A.V., Gilbert P.U.P.A., Grierson D.S. et al. // Diamond Relat. Mater. 2007. Vol. 16. P. 178
Yara T., Makita H., Hatta A. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1995. Vol. 34. P. L312
Yanchuk I.B., Valakh M.Ya., Vul'A.Ya. et al. // Diamond Relat. Mater. 2004. Vol. 13. P. 266
Turner S., Lebedev O.I., Shenderova O. et al. // Adv. Funct. Mater. 2009. Vol. 9. P. 2116
Soltamova A.A., Ilyin I.V., Baranov P.G. et al. // Physica B: Cond. Matt. 2009. Vol. 404. P. 4518
Bradac C., Gaebel T., Naidoo N. et al. // Nature Nanotech. 2010. Vol. 5. P. 345
Vlasov I.I., Shenderova O., Turner S. et al. // Small. 2010. Vol. 6. P. 687
Солтамова А.А., Ильин И.В., Шахов Ф.М. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2010. Т. 92. С. 106
Vlasov I.I., Barnard A.S., Ralchenko V.G. et al. // Adv. Mater. 2009. Vol. 21. P. 808
Gurudev Dutt M.V., Childress L., Jiang L. et al. // Science. 2007. Vol. 316. P. 1312
Balasubramanian G., Chan I.Y., Kolesov R. et al. // Nature. 2008. Vol. 455. P. 648
Osava E. // Diamond Relat. Mater. 2007. Vol. 16. P. 2018
Huang H., Pierstorff E., Osawa E., Ho D. // Nano Lett. 2007. Vol. 7. P. 3305
Williams O.A., Douheret O., Daenen M. et al. // Chem. Phys. Lett. 2007. Vol. 445. P. 255--258
Osawa E. // Pure Appl. Chem. 2008. Vol. 80. N 7. P. 1365
Krueger A. // Adv. Mater. 2008. Vol. 20. P. 2445
Krueger A. // New Carbon Materials; Chem. Eur. J. 2008. Vol. 14. P. 1382
Williams O.A., Nesladek M., Daenen M. et al. // Diamond Relat. Mater. 2008. Vol. 17. P. 1080
Schrand A.M., Ciftan Hens S.A., Shendorova O.A. // Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 2009. Vol. 34. P. 18
Байдакова М.В., Вуль А.Я., Сиклицкий В.И., Фалеев Н.Н. // ФТТ. 1998. Т. 40. С. 776
Алексенский А.Е., Вуль А.Я., Яговкина М.А. Пат. РФ 2322389. Приоритет от 20.04.2008
Алексенский А.Е., Байдакова М.В., Вейнгер А.И., Вуль А.Я., Вуль С.П., Яговкина М.А. Пат. РФ. 2322389. Приоритет от 06.10.2008
Afrosimov V.V., Il'in R.N., Karmanenko S.F. et al. // Thin Sol. Films. 2005. Vol. 492. P. 146
Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В. // Опт. и спектр. 2004. Т. 97. С. 514
Pavone P., Karch K., Schutt O. et al. // Phys. Rev. B. 1993. Vol. 48. P. 3156
Leeds S.M., Davis T.J., May P.W. et al. Diamond Relat. Mater. 1997. Vol. 7. P. 233
Gruen D. // Annu. Rev. Mater. Sci. 1999. Vol. 29. P. 211
Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. Vol. 63. P. 121 405(R)
Pfeiffer R., Kuzmany H., Salk N., Gunther B. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 82. P. 4149.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук