Предложен метод интегральной оценки качества оптического дифракционного изображения, который использует несколько скалярных параметров, определяемых посредством интегрального сравнения двух функций на поверхности формирования изображения. Первая функция представляет собой реальное распределение плотности энергии электрического поля на данной поверхности и может моделироваться решением соответствующей строгой или приближенной дифракционной задачи формирования изображения, а в качестве второй функции берется требуемое распределение энергии на указанной поверхности. Метод продемонстрирован на примере оценки качества изображений, получаемых при бесконтактной печати с фотошаблона в оптической литографии, где функция изображения вычисляется с помощью известного строгого решения задачи дифракции плоской волны на щели в проводящем экране.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.