"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Осаждение пленок из сверхзвукового потока тетрафторэтилена, активизированного взаимодействием с горячей проволочной преградой
Ребров А.К.1, Сафонов А.И.1, Тимошенко Н.И.1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск
Email: rebrov@itp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 22 октября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

Экспериментально исследовано осаждение фторопластовых пленок на подложку методом "активированного газоструйного осаждения (АГСО)" (в англоязычной литературе --- hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) ). Показано, что неравновесные процессы в сверхзвуковой струе газа-предшественника кардинально влияют на структуру получаемого покрытия. Исследована зависимость морфологии полученных покрытий от температуры проволочной сетки. PACS: 47.40.-x, 47.45.-n, 68.55.-a, 82.35.-x
  • Kenneth K.S.Lau, Jeffrey A. Caulfield, Karen K. Gleason // Chem. Mater. 2000. V. 12. P. 3032--3037
  • Matsumura H., Masuda A., Umemoto H. // Thin Solid Films. 2006. V. 501. P. 58--60
  • Ребров А.К., Тимошенко Н.И., Шишкин А.В. // ДАН. 2004. Т. 399. N 6. С. 766--770
  • Rebrov A.K., Sharafudinov R.S., Shishkin A.V., Timoshenko N.I. // Plasma Processes and Polymers. 2005. V. 2. Is. 6. P. 464--471
  • Андреев М.Н., Ребров А.К., Сафонов А.И., Тимошенко Н.И. // Вестник НГУ. Сер. Физ. 2007. Т. 2. В. 4. С. 55--62
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.