"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности процесса кристаллизации тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца
Тентилова И.Ю.1, Кукушкин С.А.1, Каптелов Е.Ю.1, Пронин И.П.1, Уголков В.Л.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург Институт химии силикатов И.В. Гребенщикова РАН, Санкт-Петербург
Email: tentilova@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 января 2011 г.

Методом синхронного термического анализа (СТА) исследована термодинамика процессов, протекающих при росте и отжиге сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС). Пленки были получены методом ВЧ-магнетронного распыления, отжигались на воздухе и в инертной атмосфере аргона при температуре 20-600oC и атмосферном давлении. Было показано, что в процессе отжига пленки в среде, содержащей кислород (на воздухе), происходит изменение энтальпии и массы системы, что связано с присутствием кислорода, в то время как при отжиге в инертной атмофере аргона никаких изменений в пленке не наблюдалось. Доказано, что данное изменение связано с переходом оксида свинца в ортоплюмбат свинца в объеме пленки ЦТС. Экспериментально показано, что данный переход приводит к существенному изменению структуры сегнетоэлектрических пленок. На основе этих данных был предложен механизм изменения структуры, происходящего при отжиге пленок ЦТС.
  • Polla D.L. // Microelectron. Eng. 1995. V. 29. P. 51
  • Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Климов В.А., Зайцева Н.В., Шаплыгина Т.А., Пронин В.П., Кукушкин С.А. // ФТТ. 2010. Т. 52. N 1. С. 124
  • Глушко В.П. // Термодинамические свойства индивидуальных веществ. 1979. Т. 2. С. 320
  • Фещенко И.А., Циновой Ю.Н., Кутьин А.М., Тайнов А.В., Новоторов Ю.Н. // Органическая химия и химия элементоорганических соединений. 2004. N 1. С. 53
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.