Формирование волнообразных наноструктур на пленках аморфного кремния распылением ионами азота
Журавлев И.В.1, Кибалов Д.С.1, Смирнова Г.Ф.1, Смирнов В.К.1
1Институт микроэлектроники и информатики РАН, Ярославль
Email: IBTec@rambler.ru
Поступила в редакцию: 30 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.
Получены зависимости длины волны и глубины формирования волнообразной наноструктуры, образуемой распылением ионами азота, от угла бомбардировки и энергии ионов для монокристаллического кремния и пленок аморфного кремния, изготовленных различными методами. При помощи двумерного преобразования Фурье проведен сравнительный анализ изображений волнообразной наноструктуры. Установлено, что пленки аморфного кремния, осажденные электронно-лучевым испарением и магнетронным распылением кремния, наиболее близки по свойствам к кристаллическому кремнию в отношении формирования наноструктуры.
- Navez M., Sella C., Chaperot D. // C.R. Acad. Sci. Paris. 1962. V. 254. P. 240-244
- Smirnov V.K., Kibalov D.S., Krivelevich S.A. et al. // Nucl. Instrum. Methods B. 1999. V. 147. P. 310--315
- Ed. by Sze S.M. VLSI Technology. McGraw Hill. New York, 1983. 654 p
- Бочкарев В.Ф., Наумов В.В., Трушин О.С. и др. // Труды ФТИАН. 1995. Т. 9. С. 25--30
- Budaguan B.G., Sherchenkov A.A., Stryahilev D.A. et al. // J. Electrochem. Soc. 1998. V. 145. P. 2508--2512
- Смирнов В.К., Кибалов Д.С., Лепшин П.А. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2000. Т. 64. N 4. С. 626--630
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук