"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
СВЧ-потери в конденсаторе на основе тонкопленочной структуры металл-сегнетоэлектрик-металл
Гайдуков М.М.1, Гагарин А.Г.1, Козырев А.Б.1, Разумов С.В.1, Тумаркин А.В.1, Алтынников А.Г.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (ЛЭТИ)
Email: mcl@eltech.ru
Поступила в редакцию: 12 декабря 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2008 г.

Рассмотрены конструкция и технология изготовления СВЧ сегнетоэлектрического (СЭ) конденсатора на основе тонкопленочной Pt/(Ba,Sr)TiO3/Cu структуры. Приведены структурные и электрофизические параметры CЭ-пленки, осажденной на пленку Pt. Представлены экспериментальные зависимости СВЧ-потерь в интервале частот (1/ 30) GHz для конденсатора, обеспечивающего перестройку емкости в ~ 2 раза при напряжениях управления ~ 30 V. На основе эквивалентных представлений определен вклад металлических потерь в общие потери конденсатора и сделан вывод об их доминирующей роли в миллиметровой части СВЧ-диапазона. PACS: 77.55.+f, 84.32.-y, 84.32.Tt, 84.40.-x
  • Tagantsev A.K., Sherman V.O., Astafiev K.F. // J. of Electroceramics. 2003. V. 11. N 1--2. P. 5--66
  • Noren B. // Microwave Journal. 2004. V. 47. N 5
  • Мухортов В.М., Масычев С.И., Головко Ю.И., Чуб А.В. // ЖТФ. 2006. Т. 76. В. 10. С. 106--109
  • Koutsaroff I.P., Bernacki T., Zelner M. et al. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 2003. V. 784. P. 319--325
  • Acikel B., Taylor T.R., Hansen P.J. et al. // IEEE Microwave and Wireless Components Lett. 2002. V. 12. Is. 7. P. 237--239
  • Al-Shareef H.N., Gifford K.D., Rou S.H. et al. // Integrated Ferroelectrics. 1993. V. 3. P. 321--332
  • Афанасьев П.В., Коровкина Н.М. // Вакуумная техника и технология. 2006. Т. 16. В. 3. С. 215--219
  • Razumov S.V., Tumarkin A.V., Gaidukov M.M. et al. // App. Phys. Lett. 2002. V. 81. Is. 9. P. 1675--1677
  • Kozyrev A., Ivanov A., Keis V. et al. // Microwave Symp. Digest IEEE МTТ-S. 1998. V. 2. N 7--12. P. 985--988
  • Kozyrev A., Buslov O., Keis V. et al. // Integrated Ferroelectrics. 2003. V. 55. N 1. P. 895--903
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.