Влияние внутренних параметров системы ВЧ осаждения на механизм синтеза и кристаллизации пленок Pb(ZrTi)O 3 в процессе их роста
Мухортов В.М.1, Толмачев Г.Н.1, Мащенко А.И.1
1Институт общей физики Москва
Поступила в редакцию: 6 июля 1992 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1993 г.
Приведены результаты исследования механизмов ВЧ распыления сложного оксида Pb0.47Zr0.53TiO3 при повышенных давлениях кислорода. Показано, что распыленные компоненты поступают в газовую фазу в стехиометрическом отношении с различной степенью возбуждения, определяемой процессами в твердом теле. При транспорте атомов через разрядный промежуток за счет плазмохимических реакций происходит их окисление, которое завершается в области отрицательного свечения. Экспериментально показано, что распыление, транспорт, конденсация и синтез сложного оксида есть взаимосогласованный нелинейный процесс в фазовом пространстве внутренних параметров.
- Scott J.F., Carlos, Par de Aanjo Science. 1989. Vol. 246. P. 1400
- Kawaguchi T., Adochi H., Setcune K. et al. Appl. Opt. 1984. Vol. 23(13). P. 2187
- Evans J.E., Womack R. JEEE J. Sol. St. Circuits. 1989. Vol. 23. P. 1171
- Adachi H., Kawaguchi T., Kitabatake P. Jap. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 22. P. 11
- Мухортов В.М., Краснолуцкий Д.П., Головко Ю.И. и др. Изв. АН СССР. Неорган. матер. 1983. Т. 93. N 6. С. 939
- Мухортов В.М., Марголин А.М., Дудкевич В.П. и др. ЖТФ. 1985. Т. 45. Вып. 2. С. 396
- Surowiak Z., Nikitin Y.S., Biryukov S.V. et al. Thin Sol. Films. 1983. Vol. 208. P. 76--86
- Volz H., Koger K., Schmitt H. Ferroelectrics. 1983. Vol. 51. N 1/2. P. 87--92
- Volz H., Koger K., Schmitt H. Ferroelectrics. 1984. Vol. 56. N 1/2. P. 161--164
- Shintani Y., Sato K., Fukuda H., Tada O. Jap. J. Appl. Phys. 1978. Vol. 17. N 3. P. 573--574
- Schubert J., Prieto P., Poppe J. 7^ th Intern. conf. "Ion Plasma Assisted Techniques". Geneva,1989. P. 9--16
- Boeuf J.A., Marode E. J. Phys. D. 1982. Vol. 15. P. 2169
- Gillam E. J. Phys. Chem. Sol. 1959. Vol. 11. N 1--2. P. 55--67
- Wang B.S. and Miley G.H. Nucl. Sci. Eng. 1983. Vol. 52. P. 130
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук