Издателям
Вышедшие номера
Исследование бестигельного кремния, полученного при большой скорости роста, методом электронной микроскопии высокого разрешения
Сорокин Л.М.1, Пономарева Н.Б.1, Гусева Н.Б.1, Щеглов М.П.1, Хатчисон Дж.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1994 г.

Методом электронной микроскопии высокого разрешения, рентгеновской топографии, рентгеновской дифракции и оптической дифракции исследована структура монокристаллов кремния бестигельной зонной плавки (БЗП), полученного при скоростях роста 9--10 mm/min. Обнаружены кристаллические наноразмерные частицы, идентифицированные как фаза gamma-Cu5Si со структурой beta-Mn. Показано, что микродефекты, возникающие в кремнии БЗП, могут быть как кристаллическими, так и аморфными. Выявлены дискообразные неоднородности микроструктуры, являющиеся результатом особенностей кристаллизации (захват фронтом микрокапель расплава) при высоких скоростях роста. Эти неоднородности являются источником локальных разориентаций типа кручения.
  • Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Шейхет Э.Г. ФТТ. 1987. Т. 29. N 9. С. 2623--2628
  • Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Таланин И.Е., Малышев К.Л., Шейхет Э.Г., Фалькевич Е.С. ФТТ. 1986. Т. 28. N 6. С. 1829--1833
  • Ourmazd A., Ahlborn K., Jbeh K., Honda T. Appl. Phys. Lett. 1985. V. 47. P. 685--688
  • Pirouz P., Chaim R., Dahmen U., Westmacott K.H. Acta Metall. 1990. V. 38. P. 313--322, 323--328, 329--336
  • Olijnyk H., Sikka S.K., Holzapfel W.B. Phys. Lett. A. 1984. V. 103. P. 137--140
  • Hu J.Z., Merkle L.D., Menoni C.S., Spain I.L. Phys. Rev. B. 1986. V. 34. P. 4679--4684
  • Duclos S.J., Vohra Y.K., Ruoff A.L. Phys. Rev. B. 1990. V. 41. P. 12021--12028
  • Cerva H., Oppolzer H. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1980. V. 183. P. 67--78
  • Гусева Н.Б., Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Трапезникова И.Н., Тучкевич В.М., Шульпина И.Л. ДАН СССР. 1983. Т. 268. N 6. С. 1385--1388
  • Ueda O., Nauka K., Lagowski J., Gatos H.C. Defects in Semiconductors, Materials Science Forum. 1986. V. 10--12. P. 145--150
  • Seibt M., Graff K. J. Appl. Phys. 1988. V. 63. P. 4444--4450
  • Sadamitsu S., Sasaki A., Hourai M., Sumita S., Fujino H. J. Appl. Phys. 1991. V. 30. N 8. P. 1591--1596
  • Sadamitsu S., Sumita S., Fujino N., Shiraiwa T. J. Appl. Phys. 1988. V. 27. P. L1819--L1821
  • Sadamitsu S., Sano M., Hourai M., Sumita S., Fujino N., Shiraiwa T. J. Appl. Phys. 1989. V. 28. P. L333--L336
  • Honda K., Nakanishi T., Ohsawa A., Toyokura N. J. Appl. Phys. 1987. V. 62. P. 1960--1963
  • Menniger H., Raidt H., Gleichmann R. Phys. Stat. Sol. 1980. V. A58. P. 173--180
  • Solberg J. K. Acta Cryst. 1978. V. A34. P. 684--698
  • Das G. J. Appl. Phys. 1973. V. 44. P. 4459--4467
  • Nes E. J. Appl. Phys. 1972. V. 43. P. 1835--1836
  • Gottfried C., Schossberger F. Struktur Bericht, 1933--1935, 1937. V. 3. P. 332
  • Хирш П., Хови А., Николсон Р., Пэшли Д., Уэлан М. Электронная микроскопия тонких кристаллов / Под ред. Л.М.Утевского. М.: Мир, 1968. 574 с
  • Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция неоднородности / Под ред. В.И.Полежаева. М.: Мир, 1991. 143 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.