Издателям
Вышедшие номера
Рост тонких слоев кремния на поверхности ниобия
Афанасьева Е.Ю.1, Потехина Н.Д.1, Соловьев С.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Поступила в редакцию: 13 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.

С помощью оже-спектроскопии в области температур от 300 до 2000 K изучены начальные стадии формирования пленки кремния на поверхности теллурированных ниобиевых лент. Обнаружено, что при напылении Si на Nb при 900<T<1100 K образуется силицид NbSi2, рост которого при этих температурах происходит послойно вглубь образца. При больших температурах 1100<T<1200 K в приповерхностной области вначале образуется силицид Nb5Si3, а при T>1200 K Nb4Si, которые затем переходят в силицид NbSi2. Образование силицида Nb4Si происходит при 1200<T<1400 K в результате структурного фазового перехода при напылении на поверхность Si в количестве 18.5· 1014 at./cm2, а при T>1400 K его рост происходит послойно.
  • %
  • Бехштедт Ф., Эндерлайн P. Поверхности и границы раздела полупроводников. М.: Мир, 1990. 484 с
  • Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
  • Агеев В.Н., Афанасьева Е.Ю., Соловьев С.M., Григорьев А.К. ФТТ. 1993. Т. 35. N 2. С. 486--491
  • Агеев В.Н., Афанасьева Е.Ю., Галль Н.Р., Михайлов С.Н., Рутьков Е.В., Тонтегоде А.Я. Поверхность. 1987. N 5. С. 7
  • Галль Н.Р., Рутьков Е.В., Тонтегоде А.Я. ЖТФ. 1990. Т. 60. N 4. С. 125--130
  • Гольдшмидт Х.Дж. Сплавы внедрения. Т. 2. М.: Мир, 1971. 464 с
  • Агеев В.Н. Докт. дис. Л.: ФТИ им.А.Ф.Иоффе, 1971. 287 с
  • Argile C., Rhead G.E. Sur. Sci. Rep. 1989. V. 10. N 6/7. P. 115
  • Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Д.Бригса и М.А.Сиха. М.: Мир, 1987. 598 с
  • Самсонов Г.В., Нешпор В.С., Ермакова В.А. ЖНХ. 1958. Т. 3. N 4. С. 868--878
  • Алямовский С.Н., Гельд П.В., Матвеенко Н.И. ЖНХ. 1962. Т. 7. N 4. С. 836--843
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.