"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Полевой транзистор на основе 6H-SiC с затвором в виде диода Шоттки
Лебедев А.А.1, Аникин М.М.1, Кузнецов А.Н.1, Растегаева М.Г.1, Савкина Н.С.1, Сыркин А.Л.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 октября 1994 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1995 г.

На основе эпитаксиальных слоев 6H-SiC, выращенных сублимационной эпитаксией, получен полевой транзистор с затвором Шоттки (MESFET). Проведены исследования параметров прибора для разных уровней легирования канала в диапазоне температур (300--700) K. Показано, что оптимизация разработанной технологии может привести к существенному улучшению достигнутых рабочих параметров прибора.
  • C.A. Mead. Proc. IEEE, 54, 307 (1966)
  • W.W. Hooper, W.I. Lehner. Proc. IEEE, 55, 1237 (1967)
  • H.S. Kong, J.W. Palmer, J.T. Glass, R.F. Davis. Appl. Phys. Lett., 51, 442 (1987)
  • H. Diamon, M. Yamanaka, M. Shinohara, E. Sakuma, S. Misawa, K. Endo. Appl. Phys. Lett., 51, 2106 (1987)
  • J.W. Palmor, J.A. Edmond, H.S. Kong, C.H. Carter Jr. Physica B, 185, 461 (1993)
  • M.W. Shin, G.L. Bilbro, R.S. Trew. Inst. Phys. Conf. Ser., N 137, Ch. 6, 641 (1993)
  • S. Tyc, C. Arnodo. Inst. Phys. Conf. Ser., N 137, Ch. 6, 671 (1993)
  • M.M. Anikin, P.A. Ivanov, A.A.Lebedev, S.N. Pyatko, A.M. Strel'chuk, A.L. Syrkin. In:\it Semiconductor Interfaces and Microstructures, ed. by Z.C. Feng (World Scientific, 1992) p. 280
  • J.A. Lely. Ber. Dt. Keram. Ges., 32, 229 (1955)
  • М.М. Аникин, П.А. Иванов, А.Л. Сыркин, Б.В. Царенков, В.Е. Челноков. Письма ЖТФ, 15, 636 (1991)
  • М.М. Аникин, А.Н. Андреев, А.А. Лебедев, С.Н. Пятко, М.Г. Растегаева, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 25, 328 (1991)
  • S.H. Hagen, A.W.C. van Kemanage, J.W.C. van der Does de Bye. J. Luminecs., 8, 18 (1973)
  • D.L. Barrett, R.B. Campbell. J. Appl. Phys., 38, 53 (1967)
  • A.A.Lebedev, M.M. Anikin, M.G. Rastegaeva, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk, V.E. Chelnokov. In: \it Thin Films, ed. by G. Hecht, F. Richter, J. Hahn (Verlag, Germany, 1994) p. 554 (\it Proc. Joint Conf. TAFT'94 \it and HVIFF, Drezden, March 7--11, 1994)
  • П.А. Иванов, Б.В. Царенков. ФТП, 25, 1913 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.