Обсуждаются структура и светоизлучающие свойства нанокристалличеких пленок кубического карбида кремния, полученных методом химической конверсии из паров гексана. Проведен детальный анализ морфологии, состава и кристаллографической структуры выращенных толстых пленок карбида кремния с применением методов рентгеноструктурного анализа, электронографии, интерференционной оптической, сканирующей зондовой и просвечивающей электронной микроскопии. Использование для возбуждения третьей гармоники фемтосекундного лазера (lambdaexit=266 nm) наряду с традиционно наблюдаемыми линиями в спектре высокотемпературной фотолюминесценции позволило впервые выявить линию излучения, лежащую в области глубокого ультрафиолета, с длиной волны (lambda=340 nm). Обсуждается природа линий, наблюдаемых в спектре фотолюминесценции. Работа выполнена по проектам РФФИ N 08-02-97017-р и 08-02-00065-а. PACS: 78.66.-w, 68.55.Jk, 68.55.-a, 61.10.-i
S. Binetti, M. Donghi, S. Pizzini, A. Castaldini, A. Cavallini, B. Fraboni, N.A. Sobolev. Solid State Phenomena 57- 58, 197 (1997)
Л.К. Орлов, С.В. Ивин, Д.В. Шенгуров, Э.А. Штейнман. Письма в ЖТФ 25, 10, 31 (1999)
L.K. Orlov, A.V. Potapov, N.L. Ivina, E.A. Steinman, V.I. Vdovin. Solid State Phenomena 69- 70, 377 (1999)
A.T. Blumenau, R. Jones, S. Oberg, P.R. Briddon, T. Frauenheim. Phys. Rev. Lett. 87, 187 404 (2001)
W. Theiss. Surf. Sci. Rep. 29, 3--4, 91 (1997)
O.G. Schmidt, K. Eberl. Phys. Rev. B 61, 13 721 (2000)
А.М. Данишевский, В.Б. Шуман, Е.Г. Гук, А.Ю. Рогачев. ФТП 31, 420 (1997)
T.L. Rittenhouse, P.W. Bohn, T.K. Hossain, I. Adesida, J. Lindesay, A. Marcus. J. Appl. Phys. 95, 490 (2004)
J.Y. Fan, X.L. Wu, F. Kong, T. Qiu, G.S. Huang. Appl. Phys. Lett. 86, 171 903 (2005)
A. Haddad-Adel, T. Inokuma, Y. Kurata, S. Hasegawa. Appl. Phys. Lett. 89, 181 904 (2006)
J. Yang, X. Wang, G. Zhai, N. Cue, X. Wang. J. Cryst. Growth 224, 83 (2001)
L. Zhang, W. Yang, H. Jin, Z. Zheng, Z. Xie, H. Miao, L. An. Appl. Phys. Lett. 89, 143 101 (2006)
X.L. Wu, J.Y. Fan, T. Qiu, X. Yang, G.G. Siu, P.K. Chu. Phys. Rev. Lett. 94, 026 102 (2005)
Л.К. Орлов, Ю.Н. Дроздов, В.Б. Шевцов, В.А. Боженкин, В.И. Вдовин. ФТТ 49, 596 (2007)
R.T. Blunt. Proc. CS MANTECH Conf. Vancouver, Canada (2006). P. 59
L.A. Hemstreet, jr., C.Y. Fong. Phys. Rev. B 6, 1464 (1972)
G. Siu, X. Wu, Y. Gu, X. Bao. Appl. Phys. Lett. 74, 1812 (1999)
В.В. Соболев, А.Н. Шестаков. ФТП 34, 447 (2000)
G. Theodorou, G. Tsegas, E. Kaxiras. J. Appl. Phys. 85, 2179 (1999).