"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Математическое моделирование высокочастотного реактора планарного типа в режиме радикального травления
Бойко В.В., Рахимов А.Т., Суетин Н.В.
Выставление онлайн: 20 октября 1990 г.

В гидродинамическом приближении проведены численные исследования ВЧ разряда мегагерцового диапазона в электроотрицательном газе (Cl2) низкого давления (0.3-1.0 Тор). Рассматривались две самосогласованные модели: локальная и нелокальная. Проведено сравнение полученных результатов по обоим моделям. Установлена граница применимости локальной модели. На основе полученных характеристик ВЧ разряда (пространственно-временных распределений концентраций заряженных частиц и электрического поля в межэлектродном зазоре) определены энергетический спектр потока ионов (Cl2+) на электрод и концентрация атомарного хлора в разряде. Последние две характеристики являются определяющими для процессов травления материалов. Полученные результаты вполне удовлетворительно согласуются с экспериментальными данными.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.