"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Нелинейный оптический эффект при облучении GaN малыми кластерными ионами
Карасев П.А.1, Карабешкин К.В.1, Титов А.И.1, Шилов В.Б.2, Ермолаева Г.М.2, Маслов В.Г.3, Орлова А.О.3
1Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
2 НПК "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2014 г.

Рассмотрено влияние облучения ускоренными атомарными P и молекулярными PF4 ионами с энергией 0.6 кэВ/аем на кристаллическую структуру и оптические свойства монокристаллических пленок GaN. Показано, что облучение малыми кластерами приводит: 1) к более быстрому накоплению структурных дефектов; 2) более сильному подавлению фиолетовой полосы и 3) к меньшим временам затухания ее интенсивности по сравнению с облучением атомарными ионами.
  • S.J. Pearton, J.C. Zolper, R.J. Shul, F. Ren. J. Appl. Phys., 86, 1 (1999)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, S.J. Pearton. Mater. Sci. Eng., R 33, 51 (2001)
  • И.А. Аброян, А.Н. Андронов, А.И. Титов. Физические основы электронной и ионной технологии (М., Высш. шк., 1984)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, C. Jagadish, J. Zou, G. Li, A.I. Titov. Phys. Rev. B, 64, 035 202 (2001)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, J. Zou, G. Li, C. Jagadish, A.I. Titov. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 190, 782 (2002)
  • W. Jiang, Y. Zhang, W.J. Weber, J. Lian, R.C. Ewing. Appl. Phys. Lett., 89, 021 903 (2006)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, C. Jagadish, V.S.J. Craig, G. Li. Appl. Phys. Lett., 77, 1455 (2000)
  • E. Wendler, A. Kamarou, E. Alves, K. Gaertner, W. Wesch. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 206, 1028 (2003)
  • S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, T.M. Kuchumova. J. Phys D: Appl. Phys., 42, 085 309 (2009)
  • A.I. Titov, P.A. Karaseov, A.Yu. Kataev, A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 277, 80, (2012)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, J. Zou, C. Jagadish, G. Li. Appl. Phys. Lett., 77, 3577 (2000)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, J. Zou, C. Jagadish, G. Li. Appl. Phys. Lett., 78, 1373 (2001)
  • Y. Gao, C. Lan, J. Xue, S. Yan, Y. Wang, F. Xu, B. Shen, Y. Zhang. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 268, 3207 (2010)
  • A.I. Titov, P.A. Karaseov, V.S. Belyakov, K.V. Karabeshkin, A.V. Arkhipov, S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov. Vacuum, 86, 1638 (2012)
  • M. Reshchikov, H. Morkoc. J. Appl. Phys., 97, 061 301, (2005)
  • A. Pinos, S. Marcinkeviv cius, M. Usman, A. Hallen. Appl. Phys. Lett., 95, 112 108 (2009)
  • D.A. Thompson. Rad. Eff., 56, 105, (1981)
  • J.A. Davies. In: J.S. Williams, J.M. Poate (eds). Ion Implantation and Beam Processing (Academic Press, Sydney, 1984)
  • S.O. Kucheyev, J.S. Williams, A.I. Titov, G. Li, C. Jagadish. Appl. Phys. Lett., 78, 2694 (2001)
  • К.В. Карабешкин, П.А. Карасев, А.И. Титов. ФТП, 47, 206 (2013)
  • В.В. Лундин, А.В. Сахаров, А.Ф. Цацульников, Е.Е. Заварин, А.И. Бесюлькин, А.В. Фомин, Д.С. Сизов. ФТП, 38, 705 (2004)
  • J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Oxford, Pergamon, 1985) vol. 1, p. 109, www.srim.org
  • K. Schmid. Rad. Eff., 17, 201 (1973)
  • M.W. Ullah, A. Kuronen, K. Nordlund, F. Djurabekova, P. Karaseov, A.I. Titov. J. Appl. Phys., 112, 043 517 (2012)
  • M.W. Ullah, A. Kuronen, K. Nordlund, F. Djurabekova, P.A. Karaseov, K.V. Karabeshkin, A.I. Titov, отослано в печать (2013)
  • F.J. Xu, B. Shen, L. Lu, Z.L. Miao, J. Song, Z.J. Yang, G.Y. Zhang, X.P. Hao, B.Y. Wang, X.Q. Shen, H. Okumura. J. Appl. Phys., 107, 023 528 (2010)
  • J. Neugebauer, C.G. Van de Walle. Appl. Phys. Lett., 69, 503 (1996).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.