S.J. Pearton, J.C. Zolper, R.J. Shul, F. Ren. J. Appl. Phys., 86, 1 (1999)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, S.J. Pearton. Mater. Sci. Eng., R 33, 51 (2001)
И.А. Аброян, А.Н. Андронов, А.И. Титов. Физические основы электронной и ионной технологии (М., Высш. шк., 1984)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, C. Jagadish, J. Zou, G. Li, A.I. Titov. Phys. Rev. B, 64, 035 202 (2001)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, J. Zou, G. Li, C. Jagadish, A.I. Titov. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 190, 782 (2002)
W. Jiang, Y. Zhang, W.J. Weber, J. Lian, R.C. Ewing. Appl. Phys. Lett., 89, 021 903 (2006)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, C. Jagadish, V.S.J. Craig, G. Li. Appl. Phys. Lett., 77, 1455 (2000)
E. Wendler, A. Kamarou, E. Alves, K. Gaertner, W. Wesch. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 206, 1028 (2003)
S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, T.M. Kuchumova. J. Phys D: Appl. Phys., 42, 085 309 (2009)
A.I. Titov, P.A. Karaseov, A.Yu. Kataev, A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 277, 80, (2012)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, J. Zou, C. Jagadish, G. Li. Appl. Phys. Lett., 77, 3577 (2000)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, J. Zou, C. Jagadish, G. Li. Appl. Phys. Lett., 78, 1373 (2001)
Y. Gao, C. Lan, J. Xue, S. Yan, Y. Wang, F. Xu, B. Shen, Y. Zhang. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 268, 3207 (2010)
A.I. Titov, P.A. Karaseov, V.S. Belyakov, K.V. Karabeshkin, A.V. Arkhipov, S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov. Vacuum, 86, 1638 (2012)
M. Reshchikov, H. Morkoc. J. Appl. Phys., 97, 061 301, (2005)
A. Pinos, S. Marcinkeviv cius, M. Usman, A. Hallen. Appl. Phys. Lett., 95, 112 108 (2009)
D.A. Thompson. Rad. Eff., 56, 105, (1981)
J.A. Davies. In: J.S. Williams, J.M. Poate (eds). Ion Implantation and Beam Processing (Academic Press, Sydney, 1984)
S.O. Kucheyev, J.S. Williams, A.I. Titov, G. Li, C. Jagadish. Appl. Phys. Lett., 78, 2694 (2001)
К.В. Карабешкин, П.А. Карасев, А.И. Титов. ФТП, 47, 206 (2013)
В.В. Лундин, А.В. Сахаров, А.Ф. Цацульников, Е.Е. Заварин, А.И. Бесюлькин, А.В. Фомин, Д.С. Сизов. ФТП, 38, 705 (2004)
J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Oxford, Pergamon, 1985) vol. 1, p. 109, www.srim.org
K. Schmid. Rad. Eff., 17, 201 (1973)
M.W. Ullah, A. Kuronen, K. Nordlund, F. Djurabekova, P. Karaseov, A.I. Titov. J. Appl. Phys., 112, 043 517 (2012)
M.W. Ullah, A. Kuronen, K. Nordlund, F. Djurabekova, P.A. Karaseov, K.V. Karabeshkin, A.I. Titov, отослано в печать (2013)
F.J. Xu, B. Shen, L. Lu, Z.L. Miao, J. Song, Z.J. Yang, G.Y. Zhang, X.P. Hao, B.Y. Wang, X.Q. Shen, H. Okumura. J. Appl. Phys., 107, 023 528 (2010)
J. Neugebauer, C.G. Van de Walle. Appl. Phys. Lett., 69, 503 (1996).