Издателям
Вышедшие номера
Измерение дифференциального и интегрального распределений диффузного рассеяния рентгеновских лучей от дефектов в тонких деформированных слоях
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.

Методы двух- и трехкристального дифрактометров были использованы для исследования структурного совершенства эпитаксиальной системы Ga1-xInxSb1-yAsy--GaSb (x=0.9, y=0.8) с толщиной пленки около 1 mum. Показано, что рассеяние от образцов этой системы может быть разделено на когерентное и диффузное. Расположение узлов обратной решетки пленки и подложки на двумерном распределении интенсивности для асимметричных отражений показывает отсутствие релаксации упругих напряжений. Сетки дислокаций не образуется, а диффузное рассеяние обусловлено дефектами кулоновского типа. Из локализации диффузной интенсивности в обратном пространстве следует, что эти дефекты находятся в эпитаксиальной пленке. Для асимметричных отражений выявлен аномальный характер распределения диффузного рассеяния, вытянутого в направлении, параллельном поверхности, и расщепленного на два максимума. Предложены и реализованы схемы измерения интегрального распределения интенсивности дифракции вдоль поверхности и по нормали к ней и показаны ее возможности для изучения диффузного рассеяния от дефектов.
  • Р.Н. Кютт, Т.С. Аргунова. ФТТ 31, 1, 40 (1989)
  • P.F. Fewster. J. Appl. Cryst. 24, 2, 178 (1991)
  • V. Holy, J. Kubena, E. Abramov, K. Lischka, A. Pezek, E. Koppensteiner. J. Appl. Phys. 74, 3, 1736 (1993)
  • P.F. Fewster, N.L. Andrew. J. Appl. Phys. 74, 3121 (1993)
  • R.N. Kyutt, S.S. Ruvimov, T.S. Argunova. J. Appl. Cryst. 28, 6, 700 (1995)
  • P.H. Dederichs. J. Phys. F: Metal Phys. 3, 3, 471 (1973)
  • B.C. Larsson. J. Appl. Cryst. 8, 150 (1975)
  • P. Zaumseil, U. Winter, F. Cembali, M. Servidori, Z. Sourek. Phys. Stat. Sol. (a) 100, 1, 95 (1987)
  • P. Zaumseil, U. Winter. Phys. Stat. Sol. (a) 120, 1, 67 (1980)
  • P. Kidd, P.F. Fewster, N.L. Andrew. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, 133 (1995)
  • M.S. Gorski, M. Meshkinpous, D.C. Streit, T.R. Block. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, A92 (1995)
  • А.Ю. Белов, В.М. Каганер. Металлофизика 9, 4, 79 (1987)
  • Т.С. Аргунова, А.Н. Баранов, С.С. Рувимов, Л.М. Сорокин. ФТТ 31, 8, 158 (1989)
  • Р.Н. Кютт, Л.М. Сорокин, Т.С. Аргунова, С.С. Рувимов. ФТТ 36, 2700 (1994)
  • A. Iida, K. Kohra. Phys. Stat. Sol. (a) 51, 2, 533 (1979)
  • М.А. Кривоглаз. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами. Наука, М. (1967)
  • L. Tapfer, P. Sciacovelly, L. DeCaro. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, 179 (1995)
  • A.A. Darhuber, E. Koppensteiner, G. Bauer, P.D. Wang, C.M.S. Torres, M.C. Holland. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, 195 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.