Издателям
Вышедшие номера
Исследования свойств FeAlN тонких пленок в зависимости от способов синтеза
Камзин А.С.1, Вей Фулинь2, Янг Зхенг2, Камзин С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2НИИ магнитных материалов, Ланджоуский университет, Ланджоу, Китай
Email: Kamzin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 февраля 2005 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2006 г.

Исследованы микроструктура, морфология и магнитные свойства пленок FeAlN, осажденных методом реактивного радиочастотного распыления с последующим синтезом с использованием трех способов: in situ, ex situ (процессы распыления и отжига разделены) и термокристаллизации аморфных сплавов. Пленки FeAlN, синтезированные методом ex situ, имеют лучшие магнитомягкие характеристики. Методом термокристаллизации аморфных сплавов получены пленки с наивысшей стабильностью свойств по температуре. Наилучшими магнитомягкими свойствами обладают пленки толщиной 800--1000 nm. Установлены зависимости свойств FeAlN пленок от содержания в них азота и от температуры отжига. Определен режим синтеза наноструктурных тонких пленок FeAlN, обладающих лучшими магнитомягкими характеристиками (индукция насыщения BS=1.8 T, коэрцитивная сила HC=1.2 Oe и магнитная восприимчивость mu1 (1 MHz)=3400 ). Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 02-02-39006 и 05-02-17791) и Фонда естественных наук Китайской Народной Республики (грант N 60371016). PACS: 81.15.Cd, 68.37Yz, 68.60.Wm, 75.70.Ak
  • L.T. Romankiw, J. Magn. Soc. Jpn. 24, 1 (2001)
  • K.H. Buschow. Handbook of Magnetic Materials. Vol. 10D. Elsevier (1997). P/433
  • M. Takahashi, T. Shimatsu. IEEE Trans. Magn. MAG 26, 1485 (1991)
  • B.Y. Wang, S.S. Suwabe, F. Tsuneda, D.E. Laughlin. IEEE Trans. Magn. MAG 31, 3967 (1995)
  • W.P. Jayasekaro, S. Wang, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 79, 5880 (1996)
  • D. Zheng, Y. Ma, D. Wu, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Phys. Stat. Sol. (a) 193, 61 (2002)
  • Y. Ma, X. Li, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Mater. Sci. Eng. B 103, 233 (2003)
  • M.A. Russak, C.V. Jahens, E. Klokhelm, J.W. Lee, M.E. Re, B.C. Webb. J. Magn. Magn. Mater. 185, 104 (1992)
  • J.F. Loffher, H.B. Braun, W. Wanger, G. Kostorz, A. Wiedenmann. Mater. Sci. Eng. A 304-- 306, 1050 (2001)
  • G. Herzer. IEEE Trans. Magn. MAG 25, 5, 3327 (1989)
  • B. Viala, M.K. Minor, J.A. Barnard. J. Appl. Phys. 80, 7, 3941 (1996)
  • R.D. Pehkle. F. Elliott. AIME Trans. 218, 1088 (1960)
  • D.J. Rogers, S. Wang, D.E. Laoghlin, M.H. Kryder. IEEE Trans. Magn. MAG 28, 5, w 419 (1992)
  • А.С. Камзин, Л.А. Григорьев, А.Б. Шерман. И.С. Бараш. Сверхпроводимость: Физика, Химия, Технология 6, 64 (1993)
  • А.С. Камзин, С.А. Камзин, Ф. Вей, З. Янг. ЖТФ 75, 131 (2005)
  • S. Wang, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 67, 9, 5134 (1990)
  • K. Sin, S.X. Wang. J. Appl. Phys. 79, 8, 5901 (1996)
  • P. Zou, J.A. Bain. IEEE Trans. Magn. MAG 36, 5, 2536 (2000)
  • M. Takahashi, T. Shimatsu, H. Shoji. Proc. ICF 6, 1483 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.