"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Селекция мод пьезоэлектрического слоя в составном акустическом резонаторе на объемных акустических волнах
Мансфельд Г.Д.1
1Институт радиотехники и электроники РАН
Поступила в редакцию: 18 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.

Рассмотрен вопрос о селекции мод тонкого пьезоэлектрического слоя в составном слоистом акустическом резонаторе на объемных акустических волнах за счет трансформации импеданса с помощью набора четвертьволновых слоев. В зависимости от числа слоев возможно как резкое повышение, так и резкое уменьшение импеданса подложки, на которую наносится пьезоэлектрический слой. Таким образом достигается имитация "закрепленной" или "свободной" поверхности. В результате реализуется механически прочная резонаторная структура, работающая на собственных частотах тонкого пьезоэлектрического слоя. Проведено численное моделирование многослойных структур на основе чередующихся четвертьволновых слоев LiNbO3 и LiTaO3. Показано, что при микронных толщинах слоев и достаточно большом их числе акустические свойства подложки не влияют на частотные характеристики и добротность колеблющегося тонкого пьезоэлектрического слоя в СВЧ диапазоне.
  • Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах. М.: Мир, 1990. 584 с
  • Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М.: Изд. АН СССР, 1959. 502 с
  • Веретин В.С., Козорезов А.Г., Крутов Б.Н., Мансфельд Г.Д. // Радиотехника и электроника. 1992. Т. 37. N 3. C. 401--404
  • Кайно Г. Акустические волны: Устройства, визуализация и аналоговая обработка сигналов. М.: Мир, 1990. 656 с
  • Морозов А.И., Проклов В.В., Станковский Б.А. Пьезоэлектрические преобразователи для радиоэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1981. 184 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.