Рассмотрен вопрос о селекции мод тонкого пьезоэлектрического слоя в составном слоистом акустическом резонаторе на объемных акустических волнах за счет трансформации импеданса с помощью набора четвертьволновых слоев. В зависимости от числа слоев возможно как резкое повышение, так и резкое уменьшение импеданса подложки, на которую наносится пьезоэлектрический слой. Таким образом достигается имитация "закрепленной" или "свободной" поверхности. В результате реализуется механически прочная резонаторная структура, работающая на собственных частотах тонкого пьезоэлектрического слоя. Проведено численное моделирование многослойных структур на основе чередующихся четвертьволновых слоев LiNbO₃ и LiTaO₃. Показано, что при микронных толщинах слоев и достаточно большом их числе акустические свойства подложки не влияют на частотные характеристики и добротность колеблющегося тонкого пьезоэлектрического слоя в СВЧ диапазоне.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.