Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом "задающей маски". Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 mum и тестовых структур для измерения контактного сопротивления. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект 16-19-10478). В работе использовано оборудование ЦКП "Физика и технология микро- и наноструктур". DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45046.05k
Q.Y. Ma, M.T. Schmidt, E.S. Yang, Siu-Wai Chan, D. Bhattachayra, J.P. Zheng, H.S. Kwok. J. Appl. Phys. 71, 4082, (1992)
J.W. Ekin, S.E. Russek, C.C. Clickner, B. Jeanneret. Appl. Phys. Lett. 62, 369, (1993)
Ф.В. Комиссинский, Г.А. Овсянников, З.Г. Иванов. ФТТ 43, 769, (2001)
M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
E.A. Vopilkin, N.V. Vostokov, A.E. Parafin. Phys. Low-Dim. Struct. 5/7, 177 (2002)
G.J. Clark, F.K. LeGoues, A.D. Marwick, R.S. Laibowitz, R. Koch. Appl. Phys. Lett. 51, 1462 (1987)
В.К. Васильев, Д.С. Королев, С.А. Королев, Д.В. Мастеров, А.Н. Михайлов, А.И. Охапкин, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин, Е.В. Скороходов, Д.И. Тетельбаум. Поверхность 4, 80 (2016)
Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. Письма в ЖТФ 42, 82 (2016)
Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 85, 109 (2015)
D.V. Masterov, A.E Parafin, L.S. Revin, A.V. Chiginev, E.V. Skorokhodov, P.A. Yunin, A.L. Pankratov. SUST 30, 025007 (2017)