Издателям
Вышедшие номера
Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO
Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: parafin@ipmras.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.

Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом "задающей маски". Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 mum и тестовых структур для измерения контактного сопротивления. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект 16-19-10478). В работе использовано оборудование ЦКП "Физика и технология микро- и наноструктур". DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45046.05k
  • Q.Y. Ma, M.T. Schmidt, E.S. Yang, Siu-Wai Chan, D. Bhattachayra, J.P. Zheng, H.S. Kwok. J. Appl. Phys. 71, 4082, (1992)
  • J.W. Ekin, S.E. Russek, C.C. Clickner, B. Jeanneret. Appl. Phys. Lett. 62, 369, (1993)
  • Ф.В. Комиссинский, Г.А. Овсянников, З.Г. Иванов. ФТТ 43, 769, (2001)
  • M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
  • E.A. Vopilkin, N.V. Vostokov, A.E. Parafin. Phys. Low-Dim. Struct. 5/7, 177 (2002)
  • G.J. Clark, F.K. LeGoues, A.D. Marwick, R.S. Laibowitz, R. Koch. Appl. Phys. Lett. 51, 1462 (1987)
  • В.К. Васильев, Д.С. Королев, С.А. Королев, Д.В. Мастеров, А.Н. Михайлов, А.И. Охапкин, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин, Е.В. Скороходов, Д.И. Тетельбаум. Поверхность 4, 80 (2016)
  • Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. Письма в ЖТФ 42, 82 (2016)
  • Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 85, 109 (2015)
  • D.V. Masterov, A.E Parafin, L.S. Revin, A.V. Chiginev, E.V. Skorokhodov, P.A. Yunin, A.L. Pankratov. SUST 30, 025007 (2017)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.