Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование магнетронного разряда постоянного тока методом подвижного сеточного анода

Рогов А.В.¹, Бурмакинский И.Ю.¹

¹Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия National Research Center “Kurchatov Institute”, Moscow, Russia

Email: alex-rogov@yandex.ru

Поступила в редакцию: 18 сентября 2003 г.

Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Предложена методика измерения плотности ионизующей электронной компоненты в магнетронном разряде постоянного тока в области сильных неоднородных магнитных полей на основе анализа экспериментальной зависимости тока разряда от расстояния между анодом и катодом при использовании сеточного анода. На основе методики исследованы параметры магнетронного разряда на технологическом магнетроне с малой зоной локализации разряда над поверхностью катода в рабочем режиме эксплуатации.

Kelly P.J., Arnell R.D. // J. Vacuum. 2000. Vol. 56. P. 159--172
Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989
Чен Ф. Электрические зонды. Диагностика плазмы / Под ред. Р. Хаддлстоуна, С. Леонарда. М.: Мир, 1967
Sheridan T.E., Goecker M.J., Goree J. // J. Vac. Sci. Technol. 1991. Vol. A 9(3). May/Jun. P. 688--690
Elakshar F.F., Hassouba M.A., Garamoon A.A. // Fizika. 2000. Vol. A9. N 4. P. 177--186
Eckstein W., Garcia-Rosales C. et al. Sputtering Data. Max-Planck-Institut fur Plasmaphysik. 1993
Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения. М.: ИЛ, 1958. 604 с. Electronic and Ionic Impact Phenomena / Ed. H.S.W. Massey and Burhop. Oxford: Clarendon Press, 1952
Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью металла. Ташкент, 1961
Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967
Бурмакинский И.Ю., Рогов А.В. // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 10. С. 46--50
Touzeau M., Prioul M. et al.// Plasma Phys. Control. Fusion. 2000. Vol. 42. P. B323--B339

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель