"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B4C и La/B9C
Андреев С.С.1, Барышева М.М.1, Чхало Н.И.1, Гусев С.А.1, Пестов А.Е.1, Полковников В.Н.1, Рогачев Д.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Вайнер Ю.А.1, Зуев С.Ю.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: maria@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 23 сентября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.

Изготовлены и исследованы многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B4C и La/B9C, предназначенные для отражения излучения в спектральной области lambda=6.7 nm. Для различных периодов зеркал продемонстрированы коэффициенты отражения на уровне 40-60%. На основе модели структуры с несимметричным профилем диэлектрической проницаемости в периоде зеркала объяснен "эффект" различия значений межслоевой шероховатости, восстанавливаемой по данным измерений в жестком и мягком рентгеновском диапазонах длин волн. Разработана экспресс-методика оценки профиля диэлектрической проницаемости в периоде многослойной структуры по данным рефлектометрических измерений. Экспериментально изучено влияние антидиффузионных барьеров Sn, Cr и Mo на коэффициент отражения La/B4C многослойных структур.
  • Michaelsen C., Ricardo P. et al. // Adv. X-ray Anal. 2000. Vol. 42. P. 308
  • Michaelsen C., Wiesmann J., Bormann R. et al. // Opt. Lett. 2001. Vol. 26 (11). P. 792--794
  • Зуев С.Ю., Клюенков Е.Б., Прохоров К.А. и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2002. N 1. С. 32--35
  • Ricardo P., Wiesmann J., Nowak C. et al. // Appl. Opt. 2001. Vol. 40. P. 2747--2754
  • Andre J.-M., Jonnard P., Michaelsen C. et al. // X-ray Spectrometry. 2005. Vol. 34. Is. 3. P. 203--206
  • Platonov Yu., Gomez L., Broadway D. // Proc. SPIE. 2002. Vol. 4782. P. 152--159
  • Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.S. et al. // CEJP. 2003. Vol. 1. P. 191--209
  • Bibishkin M.S., Chekhonadskih D.P., Chkhalo N.I. et al. // Proc. SPIE. 2004. Vol. 401. P. 8--15
  • Platonov Yu.Ya., Polushkin N.I., Salashchenko N.N. et al. // Techn. Phys. 1987. Vol. 57. P. 2192
  • Зеркальная рентгеновская оптика / Под ред. А.В. Виноградова. Л.: Машиностроение, 1989. С. 75--114
  • Гусев С.А., Прохоров К.А., Садова Е.Н. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. N 1. С. 132--135
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.