Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu0) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.
Dobkin D.M., Zuraw M.K. Principles of Chemical Vapor Deposition. Dordrecht: Kluwer Ac. Pub., 2003. 279 p
Cheng C.H., Jones K.A., Motyl K.M. // J. Electron. Mater. 1984. Vol. 13. N 4. P. 703
Igumenov I.K. // J. Phys. IV France. 1995. Vol. 5. P. C5--489
Теоретическая и прикладная химия beta-дикетонатов металлов / Под ред. В.И. Спицына, Л.И. Мартыненко. М.: Наука, 1985. 271 с
Gotkis Y., Guha S. // J. Electron. Mater. 2001. Vol. 30. N 4. P. 396--399
Rice F.O. // Trans. Faraday Soc. 1934. Vol. 30. P. 152--169; Paneth F.A., Hofeditz W. // Chem. Ber. 1929. Vol. 62. P. 1335
The Extraction of Nickel from its Ores by the Mond Process // Nature. 1898. Vol. 59. P. 63--64
Поляков О.В., Бадалян А.М. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 5. С. 60--62
Поляков О.В., Бадалян А.М., Белый В.И. // Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т. 8. N 1--2. С.217--221.
Wagner C.D., Riggs W.M., Davis L.E., Moulder J.F. Handbook of X-Ray Photoeldctron Spectroscopy / Ed. by G.E. Muilenberg. Eden Prairie: Perkin-Elmer Corporation, 1978
Shirley D.A. // Phys. Rev. B. 1972. Vol. 5. P. 4709--4714
Kibar R., Cetin A., Can N. // Physica B: Condensed Matter. 2009. Vol. 404. N 1. P. 105--110
Fu Z., Li M., Yang B., Liu R. // Thin Solid Films. 2001. Vol. 389. P. 12--15
Lupina G., Schroeder T., Dabrowski J., Wender Ch., Mane A.U., Mussig H.-J., Hoffmann P., Schmeisser D. // J. Appl. Phys. 2006. Vol. 99. P. 114 109--1--8
Platzman I., Brener R., Haick H., Tannaenbaum R. // J. Phys. Chem. C. 2008. Vol. 112. P. 1101--1108
Otamiri J.C., Andersson S.L.T., Andersson A. // Appl. Phys. Catal. 1990. Vol. 65. P. 159--174
Khassin A.A., Yurieva T.M., Demeshkina M.P., Kustova G.N., Itenberg I.Sh., Kaichev V.V., Plyasova L.M., Anufrienko V.F., Molina I.Yu., Larina T.V., Baronskaya N.A., Parmon V.N. Phys. Chem. Chem. Phys. 2003. Vol. 5. P. 4025--4031
Bertrand G. // Compt. Rend. 1923. Vol. 177. P. 997--999
Keller A. // Nature. 1951. Vol. 167. P. 907--908
Keller A., Korosy F. // Nature. 1948. Vol. 162. P. 580--582
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.