Разработана модификация плазмохимического реактора на основе пучково-плазменного разряда для осаждения углеродных, в том числе алмазоподобных (DLC) пленок, отличающаяся от известных методов простотой управления энергетическими характеристиками ионного потока, воздействующего на пленку в процессе осаждения. Описана техника компьютерного моделирования характеристик ионного потока на электроизолированную поверхность в режиме модуляции потенциала плазмы, позволяющая прогнозировать энергию и поток ионов, воздействующих на осаждаемую пленку. Получены образцы DLC-пленок на металлических подложках. Методом зарядовой релаксационной спектроскопии выявлен эффект влияния адсорбированных паров воды и спирта на электрофизические свойства пленок, что свидетельствует о возможности использования полученных пленок в качестве активного адсорбирующего материала для химических сенсоров.
Исаев Н.В., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. // Прикладная физика. 2008. N 3. С. 73
Shustin E.G., Isaev N.V., Temiryazeva M.P., Fedorov Yu.V. // Vacuum. 2009. Vol. 83. N 11. P. 1350
Латышев Ю.И., Орлов А.П., Песков В.В. и др. // Физика. 2012. Т. 442. N 2. С. 181
Shustin E.G., Isaev N.V., Klykov I.L., Peskov V.V. // Vacuum. 2011. Vol. 85. P. 711
Курнаев В.А., Песков В.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. // Прикладная физика. 2009. N 6. С. 118
Альперт Я.Л., Гуревич А.В., Питаевский Л.П. Волны и искусственные тела в приземной плазме. М.: Наука, 1974
Polyakov V.L., Ruloviishnikov A.I., Rossukanyi N.M., Druz B. // Material Research Society. Warrendale. PA. Vol. 699. Electrically Based Microstructural Characterization III. 2002. P. 219
Polyakov V.I., Rukovishnikov A.I., Rossukanyi N.M. et al. // Diamond and Related Materials. 2003. Vol. 12. P. 1776
Polyakov V.I., Mityagin A.Yu., Rukovishnikov A.I. Ibid. 2006. Vol. 15. P. 1926
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.