"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Усовершенствование электронного тороидального спектрометра для растрового электронного микроскопа и его новые применения в диагностике структур микро- и наноэлектроники
Гостев А.В., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Трубицын А.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 10 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.

Описана новая версия электростатического тороидального спектрометра электронов, инсталлированного в сканирующий электронный микроскоп. Прибор позволил провести научно-исследовательские и прикладные работы в области высоколокальной неразрушающей диагностики материалов и приборных структур микро- и наноэлектроники. Приведены примеры по топологическому контролю трехмерных микроструктур методом томографии в обратнорассеянных электронах. Показана высокая эффективность приема энергетической фильтрации вторичных электронов при мониторинге локально легированных участков примесями p- и n-типа в полупроводниковых кристаллах. Дано физическое обоснование высокого контраста изображений легированных областей. Продемонстрирована возможность измерения в сканирующем электронном микроскопе спектров электронов во всем энергетическом диапазоне от медленных вторичных до упругоотраженных.
  • Engelhardt H.A., Back W., Menzel D., Liebl H. // Rev. Sci. Instrum. 1981. Vol. 52. N 6. P. 835--845
  • Toffoletto F., Leckey R., Riley J. // Nucl. Instrum. Meth. B. 1985. Vol. 12. P. 282--291
  • Ghielmetty A., Shelley E. // Nucl. Instrum. Meth. A. 1990. Vol. 298. P. 181--187
  • Reddish T.J., Richmond G., Bagley G., Wightman J. // Rev. Sci. Instrum. 1997. Vol. 68. P. 2685--2692
  • Lower J., Panajotovic R., Bellm S., Weigold E. // Rev. Sci. Instrum. 2007. Vol. 78. P. 111 301--111 320
  • Аристов В.В., Дремова Н.Н., Рау Э.И. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 10. С. 172--181
  • Rau E.I., Robinson V.N.E. // Scanning. 1996. Vol. 18. P. 556--561
  • Гостев А.В., Дицман С.А., Лукьянов Ф.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А. // Приборы и техника эксперимента. 2010. N 4. C. 124--134
  • Афанасьев В.П., Лубенченко А.В., Федорович С.Д., Паволоцкий А.Б. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 11. С. 100--108
  • Bauer H.D. // Exper. Technik der Physik. 1979. Vol. 27. N 4. P. 331--338
  • Gerard P., Balladore J., Martinez J., Ouabou A. // Scanning. 1995. Vol. 17. N 6. P. 337--342
  • Рау Э.И., Сеннов Р.А., Реймер Л., Хоффмайстер Х. // Изв. АН. Сер. физ. 2001. Т. 65. С. 1328--1332
  • Khursheed A., Hoang H. // Ultramicroscopy. 2008. Vol. 109. P. 104--110
  • Hoang H., Osterberg M., Khursheed A. // Ultramicroscopy. 2011. Vol. 111. P. 1093--1100
  • Reimer L., Senkel R. // Optik. 1995. Vol. 98. N 3. P. 85--93
  • Cubric D., Kholine N., konishi I. // Nucl. Instr. Meth. A. 2011. Vol. 645. P. 234--240
  • Jablbonski A., Hansen H.S., Jansson C., Tougaard S. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 45. N 7. P. 3694--3702
  • Joy D.C., Prasad M.S., Meyer H. // J. Microsc. 2004. Vol. 215. P. 77--85
  • Томашпольский Ю.А. Аналитическая вторично-электронная эмиссиометрия. М.: Научный мир, 2006. 112 с
  • Thong J.T.L. Electron Beam Testing Tecnology. N Y: Plenum Press, 1993. 206 p
  • Зи С. Физика полупроводниковых приборов М.: Мир, 1984. T. 1. 456 с
  • Perovic D., Castell M., Howie A., Lavoie C., Tiedje T., Cole J. // Ultramicroscopy. 1995. Vol. 58. P. 104--113
  • Sealy C., Castell M., Wilshaw P. // J. Electron. Microsc. 2000. Vol. 49. P. 311--321
  • Buzzo M., Ciappa M., Millan J., Gorignon P., Fichtner W. // Microelectron. Eng. 2007. Vol. 84. P. 413--418
  • Kazemian P., Mentink S., RodenburgC., Humphreys C. // Ultramicroscopy. 2007. Vol. 107. P. 140--150
  • Schonjahn C., Humphreys J., Glick M. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. P. 7667--7671
  • Sealy C., Castell M., Wilshaw P. // J. Electron. Microsc. 2000. Vol. 49. P. 311--321
  • Lin Y., Joy D.C. // Surf. Interface Anal. 2005. Vol. 37. P. 895--900.
  • Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. // Физика полупроводников. М.: Наука, 1977. 672 с
  • Touzin M., Goeuriot D., Goeuriot-Piecourt C., Juve D., Treheux D., Fitting H.-J. // J. Appl. Phys. 2006. Vol. 99. P. 114 110--114 114
  • Casaux J. // J. Appl. Phys. 2011. Vol. 110. P. 024 906-15
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.