Исследованы особенности формирования внеэлектродной плазмы высоковольтным газовым разрядом. Теоретически и экспериментально подтверждено возникновение и самоподдержание высоковольтного газового разряда и формируемых им потоков плазмы на прямолинейных участках силовых линий электрического поля. Показано, что фокусировка газового разряда и формируемых им плазменных потоков обеспечивается увеличением длины прямолинейного участка силовой линии в направлении оси симметрии отверстия в аноде. Установлено, что с повышением мощности разряда (ускоряющего напряжения, подаваемого на электроды газоразрядного прибора) происходит увеличение длины прямолинейных участков силовых линий поля и их сосредоточение в области оси симметрии отверстия в аноде. Даны практические рекомендации по применению внеэлектродной плазмы для микро- и наноразмерного структурирования поверхности материалов.
Вагнер И.В., Болгов Э.И., Гракун В.Ф., Гохвельд В.Л., Кудлай В.А. // ЖТФ. 1974. Т. 44. Вып. 8. С. 1669--1674
Handle S.K., Nordhage F.R. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 81. N 9. Р. 6473--6475
Донко З., Рожа К., Шалаи Л. // Физика плазмы. 1998. Т. 24. N 7. С. 637--648
Комов А.Н., Колпаков А.И., Бондарева Н.И., Захаренко В.В. // ПТЭ. 1984. N 5. С. 218--220
Колпаков А.И., Расстегаев В.П. // Деп. в ВИНИТИ 18.04.79. N 1381-79 Деп
Казанский Н.Л., Колпаков В.А. Формирование оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда. М.: Радио и связь, 2009. 220 с
Kazanskiy N.L., Kolpakov V.A. Heat Transfer --- Engineering Applications / Ed. by V.S. Vikhrenko. InTech --- Open Access Publisher, 2011. P. 87--118
Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В. // Электронная промышленность. 1996. N 2. С. 41--44
Колпаков В.А., Колпаков А.И. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 15. С. 58--65
Колпаков В.А. // Микроэлектроника. 2002. Т. 31. N 6. С. 431--440
Казанский Н.Л., Колпаков А.И., Колпаков В.А. // Микроэлектроника. 2004. Т. 33. N 3. С. 218--233
Казанский Н.Л., Колпаков А.И., Колпаков В.А., Паранин В.Д. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 12. С. 21--25
Колпаков В.А. // Физика и химия обработки материалов. 2006. N 5. С. 41--48
Колпаков В.А. // Физика и химия обработки материалов. 2007. N 1. С. 53--58
Казанский Н.Л., Колпаков В.А. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 9. С. 41--46.
Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В. // Научное приборостроение. 2012. Т. 22. N 1. С. 120--125
Казанский Н.Л., Колпаков В.А. // Компьютерная оптика. 2003. N 25. С. 112--117.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук