"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Применение метода поверхностной ионизации для детектирования вторичных частиц во вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС)
Морозов С.Н.1, Расулев У.Х.1
1Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
Email: rasulev@aie.uz
Поступила в редакцию: 31 октября 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.

Разработан метод постионизации в процессе ионного распыления, основанный на поверхностной ионизации распыленных частиц. Приведенные оценки показывают, что метод позволяет существенно повысить чувствительность метода ВИМС для ряда элементов. Экспериментально с использованием поверхностно-ионизационного метода постионизации исследован неаддитивный рост коэффициента распыления индия с увеличением количества атомов в бомбардирующих кластерах Bim+ (m=1-7) в диапазоне энергий 2-10 keV. Данная схема детектирования нейтральных частиц может быть применена и для других способов анализа поверхности, например при лазерном испарении поверхности и электронно-стимулированной десорбции.
  • Rasulev U.Kh., Zandberg E.Ya. // Progr. Surf. Sci. 1988. Vol. 28. P. 181
  • Rasulev U.Kh., Khasanov U., Palitcin V. // J. Chromatogr. A. 2000. Vol. 896. P. 3
  • Le Beyeс Y. // Int. J. Mass. Spectrom. 1998. Vol. 174. P. 101
  • Stapel D., Beninghoven A. // Appl. Surf. Sci 2001. Vol. 174. P. 261
  • Van Stipdonk M.J. TOF-SIMS: Surface Analysis by Mass Spectrometry / Ed. by J.C. Vickerman, D. Brigs, Huddersfield. IMPublication and Surface Spectra, 2001. P. 309
  • Brunelle A., Della-Negra S., Depauw J., Jacquet D., Le Beyec Y., Pautrat M. // Phys. Rev. A. 2001. Vol. 63. P. 022 902
  • Расулев У.Х. // Сб. трудов Междунар. конф. по взаимодействию ионов с поверхностью --- ВИП 2003. М., Россия 2003. Т. 1. С. 31--36
  • Morozov S.N., Rasulev U.Kh. // Appl. Surf. Sci. 2004. Vol. 231--232. P. 78--81
  • Морозов С.Н., Расулев У.Х. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. Вып. 2. С. 77--82
  • Morozov S.N., Rasulev U.Kh. // Nucl. Instrum. Meth. B. 2007. Vol. 258. P. 238--241
  • Морозов С.Н., Расулев У.Х. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 7. С. 115--121
  • Samartsev A.V., Wucher A. // Appl. Surf. Sci. 2004. Vol. 231--232. P. 191--195
  • Samartsev A.V., Duvenbeck A., Wucher A. // Phys. Rev. B. 2005. Vol. 72. P. 115 417
  • Staudt C., Wucher A. // Phys. Rev. B. 2002. Vol. 66. P. 075 419
  • Ghalab S., Wucher A. // Nucl. Instrum. Meth. B. 2004. Vol. 226. P. 264--273
  • Морозов С.Н., Расулев У.Х. // Изв. РАН. Сер. физ. 2006. Т. 70. N 8. С. 1192--1196
  • Akhunov Sh., Morozov S.N., Rasulev U.Kh. // Nucl. Instrum. Meth. B. 2003. Vol. 203. P. 146--150
  • Расулев У.Х.,Морозов С.Н. // Изв. РАН. Сер. физ. 2002. Т. 66. N 4. С. 522--526
  • Wilson R.G., Stevie F.A., Magee C.W. Secondary Ion Mass Spectrometry: A Practical Handbook for Depth Profiling and Bulk Impurity Analysis. NY: John Wiley \& Sons, 1989. 384 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.