"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Электронная спектроскопия наноструктур, созданных в поверхностных слоях Si, GaAs и CaF2 методом низкоэнергетической ионной имплантации
Умирзаков Б.Е.1, Ташмухамедова Д.А.1, Мурадкабилов Д.М.1, Болтаев Х.Х.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@rambler.ru
Поступила в редакцию: 31 октября 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.

Приводится обзор экспериментальных результатов исследований поверхностных слоев Si, GaAs, CaF2, созданных методом низкоэнергетической ионной имплантации. Исследования проведены методами фото- и оже-электронной спектроскопии и микроскопии.
  • Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры / Под ред. Л. Ченга, К. Плога. М.: Мир, 1989. 584 с
  • Tchebotareva A.L., Brebner J.L., Roorda S., White C.W. // Nucl. Instr. Meth. B. 2001. Vol. 175--177. P. 187--192
  • Галкин Н.Г., Горошко Д.Л., Полярный В.О., Чусовитин Е.А., Гутаковский А.К., Латышев А.В., Khang Y. // ФТП. 2007. Т. 41. Вып. 9. С. 1085--1092
  • Горохов Е.Б., Володин В.А., Марин Д.В., Орехов Д.А., Черков А.Г., Гутаковский А.К., Швец В.В., Борисов А.Г., Ефремов М.Д. // ФТП. 2005. Т. 39. Вып. 10. С. 1210--1217
  • Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е., Миржалилова М.А. // Изв. РАН. Сер. физическая. М., 2004. Т. 68. N 3. С. 424--426
  • Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Kurbanov Kh.Kh. // J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2011. Vol. 5. N 4. P. 693--696
  • Патент РУз N IAP 04080. Способ получения нанокристаллов силицида металла / Б.Е. Умирзаков, Д.А. Ташмухамедова, И.П. Парманкулов, Ю.Ю. Юлдашев // Официальный бюллетень. 2010. N 1
  • Нормурадов М.Т., Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Ташатов А.К., Мавлянов Б.Б. // Сб. научн. тр. XX Междунар. конф. по взаимодействию ионов с поверхностью. М.: 2011. Т. 1. С. 340--342
  • Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А. Электронная спектроскопия нанопленок и наноструктур, созданных ионной имплантацией. Ташкент: ТашГТУ, 2004. 147 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.