"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Дифференциальная низкокогерентная интерферометрия для in situ диагностики прозрачных микроструктур
Иванов В.В.1, Маркелов В.А.1, Новиков М.А.1, Уставщиков С.С.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород
Email: ivanov@ipm.sci.-nnov.ru
Поступила в редакцию: 15 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Предложен и продемонстрирован новый метод дифференциального измерения профиля прозрачных структур, основанный на волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии. Благодаря высокой помехоустойчивости, метод может быть использован для бесконтактной in situ диагностики микроструктур в экстремальных условиях.
  • Dave D.P., Milner Th.E. // Opt. Lett. 2000. V. 25. P. 227--229
  • Dave D.P., Milner Th.E. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 2038--2042
  • Zhou Zh.-F., Zhang T., Zhou W.-D. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 125--129
  • Rao Y.J., Jackson D. // Measurements in Science and Technology. 1996. V. 7. P. 981--999
  • Ivanov V.V., Novikov M.A. et al. // Proc. SPIE. 2002. V. 4900. P. 548--555
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.