С учетом когерентного и диффузного рассеяния численно решена обратная задача рентгеновской дифракции на двух сверхрешетках Al2O3(0001)-GaN- (In0.03GaN-In0.1GaN)x5SL-AlGaN(20 nm), выращенных при близких технологических условиях. Получены детальные профили распределения деформации/состава и структурных дефектов в многослойных гетероструктурах, которые позволяют анализировать процессы эпитаксиального роста и дефектообразования в рассогласованных гетероструктурах блочного типа. Анализируются особенности дифракционного рассеяния рентгеновского излучения на таких структурах. Показано, что сходные ростовые процедуры не гарантируют получения одинаковых по структурным параметрам наномасштабных периодических систем сильно рассогласованных твердых растворов.
Burget J., Taupin D. // Acta Cryst. 1968. V. A24. P. 99--102
Burget J., Collela R. // J. Appl. Phys. 1969. V. 40. P. 3505--3509
Fukuhara A., Takano Y. // Acta Cryst. 1977. V A33. P. 137--142
Afanasev A.M., Kovalchuk M.V., Kovev E.K., Kohn V.G. // Phys. stat. sol. (a). 1977. V. 42. P. 415--422
Kyutt R.N., Petrashen' P.V., Sorokin L.M. // Phys. stat. sol. (a). 1980. V. 60. P. 381--389
Larson B.C., Barhorst J.F. // J. Appl. Phys. 1980. V. 51. P. 3181--3185
Гончарский А.В., Колпаков А.В., Степанов А.А. Обратные задачи рентгеновской дифрактометрии. Рига: Латвийский университет, 1992. 181 с
Павлов К.М., Пунегов В.И., Фалеев Н.Н. // ЖЭТФ. 1995. Т. 107. С. 1967--1982
Пунегов В.И., Павлов К.М., Подоров С.Г., Фалеев Н.Н. // ФТТ. 1996. Т. 38. С. 264--271
Kazimirov A., Faleev N., Temkin H., Bedzyk M.J., Dmitriev V., Melnik Yu. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89 (11). P. 6092--6097
Nesterets Ya.I., Punegov V.I. // Acta Cryst. A. 2000. V. 56. N 6. P. 540--548
Афанасьев А.М., Чуев М.А., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 1997. Т. 42. В. 3. С. 514--523
Химмельблау Д. Прикладное нелинейное программирование. М.: Мир, 1975
Фалеев Н.Н., Флакс Л.И., Баташова С.В., Мишурный В.А., Васильев В.И., Сазонов В.В. // Сб. докл. Всесоюз. конф. по физическим процессам в гетероструктурах. Калуга (Россия), 1990. Т. 1. С. 241
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.