"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Диагностика твердых растворов Si1-xGex методом спектроскопии медленных ионов, рассеянных назад
Бабенко П.Ю.1, Шергин А.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: babenko@npd.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 20 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.

С помощью диагностики, основанной на анализе однократного и двукратного рассеяния ионов аргона keV-энергий на угол theta=129o к направлению первичного пучка, определена доля кластерной фракции Ge в твердых растворах Si1-xGex с малым содержанием Ge (x~ 5%), которая в исследованных образцах составила =< 20%. Предложенный метод спектроскопии ионов, рассеянных назад, позволил в разы понизить предел обнаружения кластерной фракции по сравнению с ранее использованным традиционным методом анализа ионов, рассеянных на малые углы. PACS: 34.50.Dy
  • Шергин А.П., Бабенко П.Ю., Микушкин В.М. // Изв. РАН. Сер. физ. 2004. Т. 68. N 3. С. 380--384
  • Шергин А.П., Шайкин А.В. // Изв. РАН. Сер. физ. 2002. Т. 66. N 4. С. 467--471
  • Машкова Е.С., Молчанов В.А. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел. М.: Атомиздат, 1980. 256 с
  • Бабенко П.Ю., Шергин А.П. // Письма в ЖЭТФ. 2006. Т. 84. В. 7. C. 451--454
  • Уразгильдин И.Ф. // Изв. РАН. Сер. физ. 1996. Т. 60. N 7. С. 44--61
  • Yu M.L., Lang N.D. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1986. V. 14. N 4--6. P. 403--413
  • Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. В. II. Пер. с англ. М.: Мир, 1986. 107 с. Sputtering by Particle Bombardment II / Ed. by R. Behrisch. Berlin--Heidelberg--New York--Tokyo: Springer--Verlag, 1983
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.