"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов
Гольдштейн Р.В.1, Устинов К.Б.1, Шушпанников П.С.1, Меженный М.В.1, Мильвидский М.Г.1, Резник В.Я.1
1Институт проблем механики РАН, Москва ФГУП Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва
Email: goldst@ipmnet.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2008 г.

Предложен способ оценки собственных деформаций преципитата из анализа преципитат-дислокационных скоплений, возникающих на поздних стадиях многоступенчатой термической обработки кремниевых пластин. Полученная оценка использована для определения количества содержащегося в преципитате вещества. PACS: 61.46.Bc, 61.50.-f, 61.82.Fk, 62.20.-x
  • Falster R. // Semiconductor Fabtech. 13th Ed. 2001. P. 187--194
  • Колесникова А.Л., Романов А.Е., Чалдышев В.В. // ФТТ. 2007. Т. 49. С. 633--640
  • Эшелби Дж. Континуальная теория дислокаций. М.: ИЛ, 1963. С. 103--139
  • Mura T. Micromechanics of defects in solids. Martinus Nijhoff Publishers, 1987. 588 p
  • Теодосиу. Упругие модели дефектов в кристаллах. М.: Мир, 1985. 352 с
  • Гольдштейн Р.В., Устинов К.Б., Меженный М.В., Резник В.Я. / Материалы 6-й международной конференции "Рост монокристаллов и тепломассоперенос" (ICSC-05). Обнинск, Россия, сентябрь 25-30, 2005. С. 656--664
  • Гольдштейн Р.В., Устинов К.Б., Шушпанников П.С., Меженный М.В., Мильвидский М.Г., Резник В.Я. Препринт N 808 ИПМех РАН. М., 2007
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.