Вышедшие номера
Барьерный слой антиэмиссионного покрытия
Быстров Ю.А.1,2,3, Ветров Н.З.1,2,3, Лисенков А.А.1,2,3
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2ЗАО "С.Е.Д.-СПб", Санкт-Петербург
3Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: LISran@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.

Установлено, что срок службы антиэмиссионного покрытия Pt3Zr определяется процессами встречной диффузии свободной платины в подложку и атомов материала подложки в покрытие. Разработана технология получения многослойного покрытия, содержащего в качестве подслоя карбид материала подложки, являющийся барьерным слоем, который препятствует встречной диффузии материала подложки и платины. Показано, что применение такого барьерного слоя существенно увеличивает срок службы антиэмиссионного покрытия.