"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Управление энергетическим спектром ионов в модифицированном методе импульсного лазерного напыления на пересекающихся факелах
Хайдуков Е.В.1, Новодворский О.А.1, Рочева В.В.1, Лотин А.А.1, Зуев Д.А.1, Храмова О.Д.1
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура
Email: khaydukov@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 сентября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Методом зонда Ленгмюра получены времяпролетные кривые ионных токов на зонд в плазменном пучке, образованном пересекающимися факелами от двух мишеней кремния по направлению биссектрисы угла между исходными факелами. Впервые обнаружено изменение энергетического спектра плазменного пучка, сформированного при пересечении двух эрозионных факелов посредством изменения угла между ними. Сообщается о разработке модифицированного метода импульсного лазерного напыления на пересекающихся эрозионных факелах, который позволяет в широком диапазоне управлять энергией осаждаемых частиц.
  • Bolduc M., Awo-Affouda C., Stollenwerk A., Huang M.B., Ramos F.G., Agnello G., LaBella V.P. // Phys. Rev. B. 2005. V. 71. P. 033302-05
  • Mai H., Dietsch R., Holz T., Voellmar S., Hopfe S., Scholz R., Weissbrodt P., Krawietz R., Wehner B., Eichler H., Wendrock H. // Proceedings of SPIE. 1994. V. 2253. P. 268--279
  • Yasuda S., Chikyow T., Inoue S., Matsuki N., Miyazaki K., Nishio S., Kakihana M., Koinuma H. // Appl. Phys. A. 1999. V. 69. P. S925--S927
  • Панченко В.Я., Новодворский О.А., Голубев В.С. // Наука и технологии в промышленности. 2006. N 4. Ч. 1. С. 39--51
  • Saenger K.L. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. P. 5629--5635
  • Eason R. Pulsed laser deposition of thin films: Applications-LED growth of functional materials. Hoboken. N.J.: Wiley-Interscience, 2007. 682 p
  • Новодворский О.А., Филиппова Е.О., Храмова О.Д., Шевелев А.К., Венциль K., Барта И. // Квантовая электроника. 2001. Т. 31. N 2. С. 159--163
  • Хайдуков E.В., Новодворский О.А., Лотин А.А., Рочева В.В., Храмова О.Д., Панченко В.Я. // ЖТФ. 2010. Т. 80. В. 4. С. 59--63
  • Бегимкулов У.Ш., Брюнеткин Б.А., Дякин В.М., Колдашов Г.А., Репин А.Ю., Ступицкий Е.Л., Фаенов А.Я. // Квантовая электроника. 1991. Т. 18. N 7. С. 877--881
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.