Влияние микроструктуры эпитаксиальных слоев на форму рентгеновских дифракционных пиков
Выставление онлайн: 19 марта 2011 г.
Измерены дифракционные отражения от эпитаксиальных слоев с разным типом микроструктуры в брэгговской и лауэвской геометрии. На основе аппроксимации функцией Войта проанализирована форма дифракционных пиков theta- и theta-2theta-мод сканирования. Показано, что для более регулярных систем дислокаций преобладает гауссовская составляющая, чем хаотичнее распределены дислокации, тем больше доля лоренцовской составляющей в форме пиков. На дальних крыльях распределения интенсивность спадает быстрее войт-функции.
- Williamson G.K., Hall W.H. // Acta Metall. 1952. V. 1. P. 271
- Warren B.E., Averbach B.L. // J. Appl. Phys. 1950. V. 21. P. 595
- Kaganer V.M., Shalimov A., BakMisiuk J., Ploog K.H. // J. Phys: Condens. Matter. 2006. V. 18. P. 547
- Kaganer V.M., Kohler R., Schmidbauer M., Opitz R., Jenichen B. // Phys. Rev. B. 1997. V. 55. P. 1793
- Kaganer V.M., Brandt O., Tramper A., Ploog K.H. // Phys. Rev. B. 2005. V. 72. P. 045448
- Denis S., Holy V., Zhong Z., Bauer G., Ambacher O. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. P. 3065
- Denis S., Holy V., Zimin D., Zhong Z. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. 103522
- Kirste L., Pavlov K.M., Mudie S.T., Punegov V.I., Herres N. // J. Appl. Cryst. 2005. V. 38. P. 183
- Ratnikov V.V., Kyut R.N., Shubina T.V., Pashkova T., Monemar B. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2001. V. 34. P. A30
- Кютт Р.Н., Мосина Г.Н., Щеглов М.П., Сорокин Л.М. // ФТТ. 2006. Т. 48. C. 1491
- Kyutt R.N., Banshchikov A.G., Kaveev A.K., Sokolov N.S., Ohtake Y., Tabuchi M., Takeda Y., Lomov A.A. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. P. 4896
- Barchuk M., Holy V., Miljevic B. et al. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. P. 043521
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук