Влияние ионного тока на определение температуры и концентрации электронов зондовым методом
Гуцев С.А.1, Косых Н.Б.1, Чирцов А.С.1
1Санкт-Петербургский государственный университет
Email: ipnk5419@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 20 января 2012 г.
Выявлен эффект завышения электронной температуры, определяемой по наклону измеряемой ВАХ или второй производной зондового тока методом Дрювестейна. Показано, что учет вклада ионного тока позволяет уточнить экспериментально измеряемую по наклону ВАХ температуру электронов. Анализ подтверждает завышение концентрации ионов, определяемой по ВАХ в условиях столкновений в призондовом слое.
- Economou D.J. // Appl. Surf. Science. 2007. V. 253. P. 6672
- Langmuir I., Tonks L. // Phys. Rev. 1929. V. 34. P. 876
- Raizer Yu.P. // Gas Discharge Physics. Springer, 1991
- Chen F.F. // J. App. Phys. 1965. V. 36. P. 675
- Perl'V.I., Kagan Yu.M. // Sov. Phys. Usp. 1964. V. 6. P. 767
- Gardner A.L., Oleson N.L. // Phys. Fluids. 1962. V. 5. P. 794
- Druyvesteyn M.J., Warmoltz N. // Phil. Mag. 1935. V. 17. P. 1
- Гуцев С.А. // Инженерно-физический журнал. Минск, 1998. Т. 71. N 3. С. 572
- Schulz G.J., Brown S.C. // Phys. Rev. 1955. V. 98. P. 1642
- Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Скребов В.А. // Изв. РАН. 1999. Т. 63. N 11. С. 2236--2240
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук