"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Структурное состояние и механические свойства нанокристаллических пленок углерода, полученных при пиролизе метана в электрическом поле
Брантов С.К.1, Божко С.И.1, Рыжкин И.А.1, Шмытько И.М.1, Орлов В.И.1
1Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка Московской обл.
Email: brantov@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 19 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2012 г.

Описан способ синтеза углеродных пленок при пиролизе метана в электрическом поле на монокристаллических подложках кремния. Выполнены расчеты развиваемых давления и температуры при бомбардировании подложки ионами углерода C-4 в процессе пиролиза, значения которых составляют P~1.3 GPa, T~ 2300 K соответственно. В результате возникают центры образования зародышей для роста кристаллической пленки. Измерения микротвердости полученных пленок углерода показывают, что она достигает 60-80% от твердости природного алмаза. Проведено исследование структурного состояния полученного материала методами дифракции рентгеновских лучей, электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что синтезированные пленки представляют собой композиционный материал, в углеродной матрице которого содержатся выделения другой фазы наноразмерного уровня.
  • Meng Y.F., Yan C.S., Krasnicki S., Liang J., Shu H., Yu T., Steele A., Mao H.K., Hemley R.J. // Phys. Status Solidi. A. 2012. V. 209. N 1. P. 101--104
  • May P.W. Diamond Thin Films: A 21-=SUP=-st-=/SUP=-Century Material // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2000. V. A. 358. P. 473--495
  • Roger J. Narayana, Ryan D. Boehma, Anirudha V. Sumantb // Materials today. 2011. V. 14. N 4. P. 154--163
  • Teng K., Chen H., Tzeng G., Tang C., Cheng H., Lin J. // J. Appl. Phys. 2012. 111: 053701; doi:10.1063/1. 3687918 (10 pages)
  • Брантов С.К. Способ пиролитического выращивания нанокристаллических слоев графита // Патент RU N 2429315. Выдан 20.09.2011
  • Брантов С.К., Головецкий И.Я., Мазилкин А.А., Тартаковский И.И., Шмытько И.М. // Сб. трудов II Междунар. научно-практической конференции "Высокие технологии, фундаментальные и прикладные исследования в физиологии, фармакологии и медицине". Санкт-Петербург, 2011. Т. 3. С. 302--306
  • Franklin R.E. // Acta Cryst. 1951. V. 4. P. 253--261
  • Williamson G.K., Hall W.M. // Acta Metall. 1953. V. 1. P. 22--31
  • Hess P. // J. Appl. Phys. 2012; 111: 051101; doi:10.1063/1.3683544 (15 pages)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.