Приведены результаты анализа зависимости среднего перепада высот от ширины области сканирования и структуры профиля поверхности в атомно-силовой микроскопии (АСМ). На примере среднего перепада высот показано, что при анализе АСМ-данных необходимо выделять локальные и глобальные статистические параметры. При этом локальные статистические параметры могут иметь значения большие, чем глобальные. Для приведенного примера определена функция скейлинга, которая позволяет связать несколько параметров эксперимента для прогнозирования величины среднего перепада высот.
Божков В.Г., Торхов Н.А., Ивонин И.В., Новиков В.А. // ФТП. 2008. Т. 42. В. 5. С. 546--554
Калыгина В.М., Зарубин А.Н., Новиков В.А., Петрова Ю.С., Скакунов М.С., Толбанов О.П., Тяжев А.В., Яскевич Т.М. // ФТП. 2010. Т. 44. В. 9. С. 1266--1273
Калыгина В.М., Зарубин А.Н., Найден Е.П., Новиков В.А., Петрова Ю.С., Толбанов О.П., Тяжев А.В., Яскевич Т.М. // ФТП. 2012. Т. 46. В. 2. С. 278--284
Арутюнов П.А., Толстихина А.Л., Демидов В.Н. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 1998. Т. 65. N 9. С. 27--37
Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. N 6. C. 405--414
Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004. 144 с
Barabasi A.-L., Stanley H.E. Fractal concepts in surface growth. Cambridge, England: Cambridge University Press, 1995
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук