"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние структуры поверхности на величину среднего перепада высот при исследованиях методами атомно-силовой микроскопии
Новиков В.А.1
1Национальный исследовательский Томский государственный университет
Email: novikovvadim@mail.ru
Поступила в редакцию: 22 ноября 2012 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2013 г.

Приведены результаты анализа зависимости среднего перепада высот от ширины области сканирования и структуры профиля поверхности в атомно-силовой микроскопии (АСМ). На примере среднего перепада высот показано, что при анализе АСМ-данных необходимо выделять локальные и глобальные статистические параметры. При этом локальные статистические параметры могут иметь значения большие, чем глобальные. Для приведенного примера определена функция скейлинга, которая позволяет связать несколько параметров эксперимента для прогнозирования величины среднего перепада высот.
  • Божков В.Г., Торхов Н.А., Ивонин И.В., Новиков В.А. // ФТП. 2008. Т. 42. В. 5. С. 546--554
  • Калыгина В.М., Зарубин А.Н., Новиков В.А., Петрова Ю.С., Скакунов М.С., Толбанов О.П., Тяжев А.В., Яскевич Т.М. // ФТП. 2010. Т. 44. В. 9. С. 1266--1273
  • Калыгина В.М., Зарубин А.Н., Найден Е.П., Новиков В.А., Петрова Ю.С., Толбанов О.П., Тяжев А.В., Яскевич Т.М. // ФТП. 2012. Т. 46. В. 2. С. 278--284
  • Арутюнов П.А., Толстихина А.Л., Демидов В.Н. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 1998. Т. 65. N 9. С. 27--37
  • Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. N 6. C. 405--414
  • Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004. 144 с
  • Barabasi A.-L., Stanley H.E. Fractal concepts in surface growth. Cambridge, England: Cambridge University Press, 1995
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.