"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Различия в изменениях параметров компонентов структур "кремний на сапфире" после рентгеновского облучения со стороны эпитаксиального слоя и подложки
Киселев А.Н.1, Перевощиков В.А.1, Скупов В.Д.1, Филатов Д.О.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород
Email: vap@nifti.unn.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2003 г.

Методами атомно-силовой микроскопии и лазерной эллипсометрии обнаружены различия в изменениях микроморфологии поверхности слоев кремния структур "кремний на сапфире" (КНС), показателей преломления и коэффициентов экстинкции кремния и сапфира после облучения композиций рентгеновским излучением с энергий E=< 300 keV со стороны эпитаксиальной пленки и подложки.
  • Киселев А.Н, Перевощиков В.А., Скупов В.Д. и др. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 17. С. 35--39
  • Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д. и др. // ФТП. 1986. Т. 20. В. 3. С. 503--507
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.