Масс-спектрометрия моноатомных слоев хлора на поверхности твердотельных подложек
Фролов В.Д.1, Апресян Л.А.1, Власов Д.В.1, Крикунов Г.А.1, Власова Т.В.1
1Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН им. А.М. Прохорова, Москва
Email: lesa@nsc.gpi.ru
Поступила в редакцию: 3 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.
Предложена новая методика определения следов хлора в пленках, осажденных на твердотельных (в частности, кремниевых) подложках методом вторичной ионной масс-спектроскопии, основанная на получении молекулярных хлорсодержащих положительно заряженных ионов. В отличие от стандартно используемых для подобных целей инертных газов вторичная ионизация твердого образца проводилась посредством бомбардировки хлорсодержащей подложки пучком молекул метана, в результате чего удалось получить положительно заряженные ионы CCl+2 с молекулярной массой 82, 84 и 85. Указанные масс-спектрометрические "пики" отчетливо наблюдаются в виде дублета и не затеняются сигналами ионов подложки и другими фоновыми продуктами реакций.
- Сысоев А.А., Артаев В.Б., Кащеев В.В. Изотопная масс-спектроскопия / Под общ. ред. А.А. Сысоева. М.: Энергоатомиздат, 1993. 288 с
- Ferrari S., Scarel G., Wiemer C. et al. // J. Appl. Phys. 2002. V. 92. P. 7675--7677
- Godon A., Webster J., Layne G. et al. // Geophysical Research Absracts, European Geophysical Society. 2003. V. 5. P. 13080
- Allen G.C., Brown I.T., Ciliberto E. et al. // Eur. J. Mass Spectrom. 1995. V. 1. P. 493--497
- Frolov V.D., Konov V.I., Pimenov S.M. et al. // Appl. Phys. A. 2004. V. A78. P. 21--23
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук