Вышедшие номера
Исследование начальных стадий роста нанокластеров карбида кремния на подложке кремния
Трушин Ю.В.1,2, Журкин Е.Е.1,2, Сафонов К.Л.1,2, Шмидт А.А.1,2, Харламов В.С.1,2, Королев С.А.1,2, Лубов М.Н.1,2, Пецольдт Й.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2С.-Петербургский государственный политехнический университет Zentrum fur Mikro- und Nanotechnologien, TU Ilmenau Postfach, Ilmenau, BR Deutschland
Email: trushin@theory.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 12 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.

Описан комплекс экспериментально-теоретических исследований роста нанокластеров SiC на подложке кремния путем молекулярно-лучевой эпитаксии и приведены начальные результаты таких исследований на ранних стадиях роста нанокластеров.