"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
ВИМС профилирование гетероструктур GaAs/delta-AlAs/GaAs/... с помощью многоатомных ионизованных кластеров кислорода
Бер Б.Я.1,2, Коварский А.П.1,2, Казанцев Д.Ю.1,2, Трушин Ю.В.1,2, Журкин Е.Е.1,2, Шмидт А.А.1,2, Белых С.Ф.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2С.-Петербургский государственный технический университет Department of Chemistry,University of Antwerp (UIA), Antwerp(Wilrijk), Belgium
Email: boris.ber@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 20 апреля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.

Исследуется возможность использования многоатомных ионов в качестве первичных частиц при профилировании твердотельных гетероструктур методом вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС). Показано, что бомбардировка мишени ионизованными кластерами кислорода O+n (n=3,4) позволяет снизить удельную энергию удара в пересчете на первичный атом и поэтому достигается существенное улучшение разрешения по глубине. Продемонстрирована возможность получения пучка первичных ионизованных кластеров вида O+n (n=3,4) с удельной энергией удара вплоть до 1 keV/at. при использовании стандартного источника ионов, снабженного магнитным масс-сепаратором, и магнитно-секторного вторично-ионного масс-спектрометра. ВИМС профилирование тестовой структуры GaAs/delta-AlAs/GaAs/... при использовании первичных ионов O+3 с удельной энергией 1 keV/at. продемонстрировало высокое разрешение по глубине. Проведено сравнение экспериментальных данных с компьютерным моделированием процесса ионного распыления, выполненным с использованием кода DITRIRS.
  • Zalm P.C. // Rep. Progr. Phys. 1995. V. 58. N 10
  • Zalm P.C. // Microchimica Acta. 2000. V. 132. N 2--4. P. 243--257
  • Yamazaki H., Mitani Y. // Nucl. Instr. Meth. B. 1997. V. 124. N 1. P. 91--94
  • Ber B.J., Kharlamov V.S., Kudrjavtsev Yu.A. et al. // Nucl. Instr. Meth. B. 1997. V. 127--128. N 1. P. 286--290
  • Trushin Yu.V., Ber B.J., Kharlamov V.S. et al. // J. Nucl. Mater. 1996. V. 237. Pt. 2. P. 991--995
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.