О диагностике сильнолегированного кремния, выращенного по методу Чохральского
Кютт Р.Н., Рувимов С.С., Шульпина И.Л.
Email: sergei.rouvimov@sumcoUSA.com
Поступила в редакцию: 9 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2006 г.
Показаны возможности диагностики сильнолегированных кристаллов кремния в исходном (as-grown) состоянии, выращенных по методу Чохральского с помощью методов, основанных на интерференционных эффектах динамической дифракции рентгеновских лучей - секционного топографического метода Ланга и дифрактометрии на основе эффекта Бормана. Уточнен тест на структурное совершенство кристаллов по наблюдаемости интерференционных полос на секционных топограммах. PACS: 81.05.-t
- Chiou H.-D. // Defects in Silicon 111, Electrochemical Soc. Proc. 1999. V. 99--1. P. 516--520
- Ruvimov S., Kyutt R., Kearns J. et al. // Solid State Phenomena. 2004. V. 95--96. P. 17--22
- Боуэн Д.Л., Таннер Б.К. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография / Пер. с англ. СПб.: Наука, 2001. 274 c
- Barushel J., Hartwig J. Basic courses of X-TOP. 2002. Grenoble, France, 2002. P. 1--38
- Aristov V.V., Kohn V.G., Polovinkina V.I. et al. // Phys. stat. sol. (a). 1982. V. 72. N 2. P. 483--491
- Kyutt R.N., Shulpina I.L., Mosina G.N. et al. // Book of abstracts of 7th Bienial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging. September 7--10, 2004. Prague. P. 0--33
- Kyutt R.N., Shulpina I.L., Mosina G.N. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2005. V. 38. P. 1--6
- Dederichs P.H. // J. Phys. F: Met. Phys. 1973. V. 3. P. 471
- Шульпина И.Л., Кютт Р.Н. // Тезисы лекций и докладов 3-й Российской школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе. М., 2005. С. 93--95
- Мильвидский М.Г., Осипьян Ю.А., Смирнова И.А. и др. // Поверхность. 2001. N 6. С. 5--11
- Сорокин Л.М., Кютт Р.Н., Мосина Г.Н. и др. // Сборник тезисов конференции "Кремний 2004". Иркутск, 5--9 июля 2004 г. С. 150
- Мосина Г.Н., Кютт Р.Н., Рувимов С.С. и др. // Там же, С. 77.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук