"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование неоднородности фронта травления макропор в тонких пластинах n-Si
Нечитайлов А.А.1, Астрова Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: aan.shuv@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Установлена причина появления куполообразного фронта травления макропор в тонких образцах кремния при фотоэлектрохимическом травлении в ячейке с кольцевым анодным контактом. Показано, что она связана с радиальным падением напряжения в подложке и уменьшением плотности тока в центральной части образца. Исследовано влияние внешнего напряжения на форму фронта. Предлагаются способы регистрировать возникновение неоднородности в процессе травления по изменению зависимости интенсивности подсветки образца от времени и изменению вольт-амперной характеристики. Обсуждается эффективность различных мер, позволяющих получить однородные по площади глубокие макропоры. PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.Nj
  • Lehmann V., Foll H. // J. Electrochem. Soc. 1990. V. 137. P. 653--659
  • Ohlsen L. Extended Abstracts of the 4th Int. Conf. Porous Semiconductors--Science and Technology. Cullera-Valencia, Spain 14--19.03.2004 / Ed. L. Canhman, A. Nissiopoulou, V. Parkhutik, Abstract I-3
  • Homa A. Presentation at Small Fuel Cells Conference, April 3, 2006. www.neahpower.com
  • Астрова Е.В. // Тез. докл. Российской конференции "Физические проблемы водородной энергетики" Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН. С.-Петербург, 2004. С. 28--30
  • Волков Е.В., Старков В.В., Добровольский Ю.А., Гаврилин Е.Ю. // Нано- и микросистемная техника. 2006. N 10. С. 40--46
  • Marsaco D. Technological Research Division CEA Grenoble Center. http://www.cea.fr/gb/publications/Clefs50/pdf/094a095marsacq-gb.pdf
  • Lu G.Q., Wang C.Y., Yen T.J., Zhang X. // Electrochimica Acta. 2004. V. 49. P. 821--828
  • Jingrong Yu, Ping Cheng, Zhiqi Ma, Baolian Yi // Journal of Power Sources. 2003. V. 124. P. 40--46
  • Lehmann V. Electrochemistry of Silicon. Wiley-VCH Verlag GmbH, 2002. 277 p
  • Foll H., Christophersen M., Carstensen J., Hasse G. // Materials Science and Engineering. 2002. V. R 39. P. 93--141
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.