Исследованы условия получения наноразмерных островков (квантовых точек) кремния в плазме СВЧ газового разряда низкого давления на некристаллических материалах со слабым взаимодействием на межфазной границе. Показано, что формирование наноостровков происходит через заращивание углублений рельефа поверхности подложки. Предложен механизм влияния параметров режима осаждения на кинетику их формирования. PACS: 61.30.Hn
Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алфёров Ж.И., Бимберг Д. // ФТП. 1998. Т. 32. N 4. С. 385--410
Baron T., Martin F., Mur P. et al. // Appl. Surf. Sci. 2000. V. 164. P. 29--34
Xiong H.-M., Zhao Xu, Chen Jie-Sheng // J. Phys. Chem. B. 2001. V. 105. P. 10 169--10 174
Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43--47
Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. // Зарубежная электронная техника. 1997. N 1. С. 77--120
Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1982. 247 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.