Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование пространственного распределения интенсивности линий оптической эмиссии плазмы высокочастотного разряда в процессе напыления феррита висмута
1Научно-исследовательский институт физики, Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия 
2Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: pavstef@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2008 г.
Проведено исследование пространственного распределения линий оптической эмиссии плазмы кислородного ВЧ разряда в процессе напыления пленок BiFeO3. Получены экспериментальные зависимости интенсивности характерных эмиссионных линий в видимой и ближних УФ и ИК областях от расстояния до мишени. Показано отличие для ионов кислорода, атомов кислорода и атомов железа. Выявлены различия в пространственном распределении интенсивности для эмиссионных линий железа 613.7 и 688.6 nm. PACS: 52.70.Kz, 52.80.Pi
- Ramesh R., Spaldin N.A. // Nature Materials. 2007. V. 6. P. 21--29
- Yun et al. // J. of Appl. Phys. 2004. V. 96. No 6
- Bea et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. P. 072 508
- Lee et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. P. 172 901
- Qi et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 062 903
- Мухортов В.М. и др. // Труды Южного научного центра РАН. Т. 2: Физика. Механика. Техника. Ростов-на-Дону 2007. С. 224--265
- Мухортов В.М. и др. // ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 5. С. 22--28
- Мухортов В.М. и др. // ЖТФ. 1998. Т. 68. В. 9. С. 99--103
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
