"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние термообработки на структуру пленок диоксида титана
Комлев А.Е.1,2, Лапшин А.Е.1,2, Магдысюк О.В.1,2, Плотников В.В.1,2, Шаповалов В.И.1,2, Шутова Н.С.1,2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В.И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ"
2Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова РАН, Санкт-Петербург
Email: vishapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 марта 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Приведены результаты исследования развития при изотермическом отжиге нанокристаллических фаз в пленках диоксида титана. В пленках, имеющих после осаждения разную кристаллическую структуру, термообработка на воздухе и в вакууме в интервале температур 500-700oC приводит к существенно отличающимся результатам.
  • Hou Y.-O., Zhuang D.-M., Zhang G. et al. // Appl. Sur. Sci. 2003. V. 218. N 1--4. P. 98--106
  • Sirghi L., Hatanaka Y. // Surf. Sci. 2003. V. 530. P. 323--327
  • Zywitzki O., Modes T., Sahm H. et al. // Sur. Coat. Technol. 2004. V. 180--181. P. 538--543
  • Martinez A.I., Acosta D.R., Lopez A.A. // J. Phys.: Condens. Matter. 2004. V. 16. P. 2335--2344
  • Zhang W., Li Y., Zhu S., Wang F. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2003. V. 21. N 6. P. 1877--1882
  • Wenjie Z., Ying L., Shenglong Z. et al. // Sur. Coat. Technol. A. 2004. V. 182. P. 192--198
  • Zhang W., Li Y., Zhu S., Wang F. // Chem. Phys. Lett. 2003. V. 373. N 3. P. 333--337
  • Chen X., Wang X., Hou Y. et al. // J. Catal. 2008. V. 255. P. 59--67
  • Barybin A.A., Shapovalov V.I. Nonisothermal chemical model of reactive sputtering // J. Appl. Phys. 2007. V. 101. P. 054905
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.