Рассматриваются процессы диффузии в системе "пленка-подложка" при облучении поверхности ионами Ar+ различных энергий. Приведены данные по изменению компонентного состава поверхностных слоев в области границы "пленка-подложка". Проанализированы возможные механизмы диффузии и аномально глубокого компонентного перемешивания, наблюдаемого в результате ионной имплантации.
Кирсанов В.В., Мусина М.В. // Металлы. 1993. N 3. С. 84--87
Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск: Изд-во БГУ им В.И. Ленина, 1980
Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М: Металлургия, 1990
Дидык А.Ю., Робук В.Н., Семина В.К., Халил А., Хофман А. // Вопросы атомной науки и техники. 2005. N 3. С. 55--63
Акимова И.А., Миронов В.М., Покоев А.В. // Известия высших учебных заведений. Цветная металлургия. 1985. N 5. С. 1225--1227
Баянкин В.Я., Гусева М.И., Тетельбаум Д.И., Гильмутдинов Ф.З. // Поверхность. 2005. N 5. С. 77--82
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.