"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование зависимости пьезоактивности пленок оксида цинка от условий синтеза в критических режимах тлеющего разряда
Александров В.А.1, Веселов А.Г.1, Кирясова О.А.1, Сердобинцев А.А.1
1Саратовский филиал института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: AlexandrovVA@gmail.com
Поступила в редакцию: 4 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Представлены результаты исследования влияния давления газов в магнетронной распылительной системе (МРС) при синтезе пленок ZnO на эффективность возбуждения объемного гиперзвука. Эксперименты проведены при давлениях, близких к переходу тлеющего разряда в МРС в таунденсовский, где длина свободного пробега ионов и электронов возрастает и появляется дрейфовая компонента в потоке осаждаемых частиц. Показано, что в этих условиях возрастает эффективность возбуждения гиперзвука (частота >1 GHz), что авторы связывают с уменьшением текстуры зарождения и возрастанием плотности пленки. Выводы сделаны на основании сравнения со свойствами пленок, полученных в классическом диффузном тлеющем разряде.
  • Александров В.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А., Сердобинцев А.А. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 8. С. 142-145
  • Сердобинцев А.А., Бурыгин Е.И., Веселов А.Г., Кирясова О.А., Джумалиев А.С. // ЖТФ. 2008. Т. 78. В. 3. С. 83-85
  • Веселов А.Г., Джумалиев А.С. // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 4. С. 118-120
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.