"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Высокотемпературный детектор водорода со структурой Pt/Pt+/n-6H-SiC
Зуев В.В.1, Григорьев С.Н.1, Романов Р.И.1, Фоминский В.Ю.1
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва Московский государственный технологический университет "Станкин"
Email: vyfominskij@mephi.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2013 г.

Для формирования газочувствительных структур на монокристаллах n-6H-SiC использовался комбинированный метод имплантации Pt+ и последующего осаждения пленки Pt из импульсной лазерной плазмы. Высокотемпературная имплантация обеспечивала формирование слоя, улучшающего сцепление пленки с подложкой, а также изменяющего параметры токопрохождения под воздействием атомарного водорода, образующегося при взаимодействии H2 с каталитически активной Pt. Нарушение слошности пленки Pt в условиях повышенных температур функционирования датчика (~ 500oC) не оказывало явного негативного влияния на сенсорные свойства структуры Pt/Pt+/SiC. Аналогичные эффекты в традиционно используемой диодной структуре Pt/SiC обусловливали сильную деградацию ее функциональных характеристик.
  • Soo M.T., Cheong Y.C., Noor A.F. // Sensors and Actuators B. 2010. V. 151. P. 39--55
  • Hubert T., Boon-Brett L., Black G., Banach U. // Sensors and Actuators. B. 2011. V. 157. P. 329--352
  • Филиппов В.И., Иванов П.А., Синянский В.Ф., Терентьев А.А., Якимов С.С. // ЖТФ. 1999. Т. 69. В. 2. С. 54--57
  • Фоминский В.Ю., Григорьев С.Н., Романов Р.И., Зуев В.В., Григорьев В.В. // ФТП. 2012. Т. 46. В. 3. С. 416--424
  • Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Гнедовец А.Г., Зуев В.В., Демин М.В., Григорьев В.В. // ФТП. 2011. Т. 45. В. 5. С. 694--701
  • Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Гнедовец А.Г., Зуев В.В., Демин М.В. // ФТП. 2010. Т. 44. В. 4. С. 556--563
  • Фоминский В.Ю., Григорьев С.Н., Гнедовец А.Г., Романов Р.И. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 14. С. 86--94
  • Громов Д.Г., Пятилова О.В., Булярский С.В., Белов А.Н., Раскин А.А. // ФТТ. 2013. Т. 55. В. 3. С. 562--566
  • Nakagomi S., Okuda K., Kokubun Y. // Sensors and Actuators. B. 2003. V. 96. P. 364--371
  • Романов Р.И., Зуев В.В., Фоминский В.Ю., Демин М.В., Григорьев В.В. // ФТП. 2010. Т. 44. В. 9. С. 1229--1235
  • Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P. // SRIM --- The Stopping and Range of Ions in Matter. http://www.srim.org/
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.