"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование текстуры (200) и (110) в пленках железа, полученных магнетронным распылением
Джумалиев А.С.1, Никулин Ю.В.1, Филимонов Ю.А.1
1Саратовский филиал института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: dzhas@yandex.ru
Поступила в редакцию: 23 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Исследовано влияние давления рабочего газа на текстуру пленок железа, полученных на подложках Si(100)/SiO2 магнетронным распылением при комнатной температуре. Показано, что изменение давления рабочего газа от 1.33 до 0.09 Pa приводит к смене текстуры пленок от (110) к (200), что также сопровождается переходом от столбчатой микроструктуры пленок к квазиоднородной. Показано, что шероховатость поверхности пленки зависит от давления рабочего газа немонотонно и имеет максимум в интервале давлений, отвечающих сосуществованию в пленке фаз с текстурами (110) и (200).
  • Pauleau Y., Kukielka S., Gulbinski W., Ortega L., Dub S.N. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2006. V. 39. Р. 2803
  • Flis-Kabulska I., Handke B., Spiridis N., Haber J., Korecki J. // Surface Science. 2002. V. 507-510. P. 865-871
  • Roosendaal S.J., Bakker J.P., Vredenberg A.M., Habraken F.H. // Surf. Sci. 2001. V. 494. P. 197-205
  • Nakagawa S., Kamiki T. // J. Magn. Magn. Mater. 2005. V. 287. P. 204-208
  • Yuasa S., Sato T., Tamura E., Suzuki Y., Yamamori H., Ando K., Katayama T. // Europhys. Lett. 2000. V. 52 (3). P. 344-350
  • Wang S.G., Tian E.K., Lung C.W. // J. Physics and Chemistry of Solids. 2000. V. 61. P. 1295-1300
  • He H., Zha C.L., Ma B., Zhang Z.Z., Jin Q.Y. // JMMM. 2007. V. 310. P. 2656-2658
  • Reichelt K. // Vacuum. 1988. V. 38. P. 1083
  • Thompson C.V. // Annu. Rev. Mater. Sci. 2000. V. 30. Р. 159
  • Гольдштейн Р.В., Городцов В.А., Лисовенко Д.С. // Письма о материалах. 2011. Т. 1. С. 127-132
  • Shirakashi J., Takemura Y. // JMMM. 2004. V. 272-276. P. 1581
  • Watanabe K., Takemura Y., Shimazu Y., Shirakashi J. // Nanotechnology. 2004. V. 15. P. S566-S569
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.