Издателям
Вышедшие номера
Об управлении структурой и напряженным состоянием тонких пленок и покрытий в процессе их получения ионно-плазменными методами
Соболь О.В.1
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Email: sool@kpi.kharkov.ua
Поступила в редакцию: 1 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.

Проведен системный анализ влияния температуры подложки при осаждении на два основных фактора неравновесности состояния материала ионно-плазменных пленок и покрытий: наноразмерность структурных образований и высокие напряжения. Показано, что повышение температуры при осаждении приводит к преимущественному росту нанокристаллитов в направлении падения пленкообразующих частиц, что ведет к формированию анизомерной кристаллической структуры. Основными причинами возникновения высоких упругих напряжений в ионно-плазменных конденсатах являются ионно-атомная бомбардировка в процессе осаждения (приводит к развитию напряжений сжатия) и различие коэффициентов термического расширения материалов конденсата и подложки (термические напряжения; знак определяется разностью коэффициентов термического расширения материалов конденсата и подложки). Увеличение температуры при осаждении приводит к релаксации сжимающих напряжений, стимулированных ионно-атомной бомбардировкой, и к повышению влияния термических напряжений на состояние ионно-плазменного конденсата. Это позволяет управлять напряженным состоянием ионно-плазменных пленок и покрытий путем изменения температуры подложки при осаждении. Работа выполнена в соответствии с планом МОН Украины (тема М2017).
  • Nanocomposite thin films and coatings: processing, properties and performance / Eds S. Zhang, A. Nasar. Imperial College Press, London (2007). 617 p
  • Nanostructured materials: processing, properties and applications / Ed. C.C. Koch. William Andrews Publ., N.Y. (2002). 546 p
  • А.П. Шпак, П.Г. Черемской, Ю.А. Куницкий, О.В. Соболь. Кластерные и наноструктурные материалы. Академпериодика, Киев (2005). Т. 3. 516 с
  • В.С. Иванова. Синергетика. Прочность и разрушение металлических материалов. Наука, М. (1992). 160 с
  • В.С. Иванова, А.С. Буланкина, И.Ж. Бунин, А.А. Оксагоев. Синергетика и фракталы в материаловедении. Наука, М. (1994). 383 с
  • А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий, П.Г. Черемской. Самоорганизация в низкоразмерных системах. ИМФ НАНУ, Киев (2005). 128 с
  • О.В. Соболь, Г.Я. Дульфан. Теория фракталов (бесконечное приближение). НТУ "ХПИ", Харьков (2006). 206 с
  • O.V. Sobol, O.N. Grigorjev, Yu.A. Kunitsky, S.N. Dub, A.A. Podtelezhnikov, A.N. Stetsenko. Sci. Sintering 38, 63 (2006)
  • О.В. Соболь. ФТТ 49, 6, 1104 (2007)
  • O.V. Sobol'. Functional Mater. 14, 3, 392 (2007)
  • O.V. Sobol'. Functional Mater. 14, 4, 436 (2007)
  • О.В. Соболь. В сб.: Наноструктурные материалы. Харьков. нанотехнол. ассамблея, Харьков (2008). Т. 1. С. 34
  • О.В. Соболь. Физ. инженерия поверхности 6, 1--2, 20 (2008)
  • А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий, М.Ю. Барабаш. Порошковая металлургия 1/2, 72 (2008)
  • А.П. Шпак, О.В. Соболь, В.А. Татаренко, Ю.А. Куницкий, М.Ю. Барабаш, Д.С. Леонов, В.А. Дементьев. Металлофизика и новейш. технологии 30, 4, 525 (2008)
  • О.В. Соболь. Физ. инженерия поверхности 6, 3--4, 134 (2008)
  • А.И. Гусев, А.А. Ремпель. Нанокристаллические материалы. Физматлит, М. (2001). 224 с
  • А.П. Шпак, А.И. Наконечная, Ю.А. Куницкий, О.В. Соболь. Механические свойства покрытий на основе титана. ИМФ НАНУ, Киев (2005). 84 с
  • Ю.И. Головин. ФТТ 50, 2113 (2008)
  • Р.А. Андриевский, А.М. Глезер. ФММ 89, 1, 91 (2000)
  • А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий. УФМ 9, 3, 357 (2008)
  • О.В. Соболь, С.Н. Дуб, О.Н. Григорьев, А.Н. Стеценко, А.А. Подтележников. Сверхтвердые материалы 35, 5, 38 (2005)
  • В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова. ВАНТ. Сер. Вакуум, чистые металлы, сверхпроводники, 18, 6, 158 (2009)
  • В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, С.В. Литовченко. ЖТФ 80, 6, 117 (2010)
  • Springer handbook of nanotechnoligy / Ed. B. Bhushan. Springer-Verlag, Berlin (2007). 1916 p
  • М.В. Решетняк, О.В. Соболь. Физ. инженерия поверхности 6, 3--4, 180 (2008)
  • Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. Наука, М. (1972). 320 с
  • А.П. Шпак, О.В. Соболь, П.Г. Черемской, Ю.А. Куницкий, А.Н. Стеценко. Наносистеми. Наноматерiали. Нанотехнологii 4, 2, 373 (2006)
  • О.В. Соболь. Наносистеми. Наноматерiали. Нанотехнлогii 4, 3, 707 (2006)
  • О.В. Соболь. В сб.: Вакуумные нанотехнологии и оборудование. Харьков. нанотехнол. ассамблея. Харьков (2006). Т. 1. С. 260
  • J.A. Tornton. Ann. Rev. Mater. Sci. 7, 239 (1977)
  • J.A. Tornton, D.W. Hoffman. J. Vac. Sci. Technol. 14, 164 (1997)
  • G. Keller, I. Barzen, W. Dotter. Mater. Sci. Eng. A 139, 137 (1991)
  • А.А. Козьма, О.В. Соболь, Е.А. Соболь. Вiсн. Харкiв. держав. ун-ту. Сер. Фiзика 440, 3, 149 (1999)
  • D.W. Hoffman. J. Vac. Sci. Technol. A 12, 4, 953 (1994)
  • T.J. Vink, W. Walrave, J.L.C. Daams, A.G. Dirks. J. Appl. Phys. 74, 2, 988 (1993)
  • Y.G. Shen, Y.W. Mai, Q.C. Zhang, D.R. McKenzie, W.D. McFall, W.E. McBride. J. Appl. Phys. 87, 1, 177 (2000)
  • P.H. Mayrhofer, C. Mitterer, L. Hultman, H. Clemens. Prog. Mater. Sci. 51, 1032 (2006)
  • F.M. d'Heurle, J.M. Harper. Thin Solid Films 171, 81 (1989)
  • О.В. Соболь. ФММ 91, 1, 63 (2001)
  • M. Itoh, M. Hori, S. Nadahara. J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1, 149 (1991)
  • Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. Энергоатомиздат, М. (1991). 1232 с
  • O.V. Sobol', E.A. Sobol', A.A. Podtelezhnikov. Functional Mater. 6, 5, 868 (1999)
  • O.V. Sobol, E.A. Sobol, L.I. Gladkikh, A.N. Gladkikh. Functional Mater. 9, 3, 486 (2002)
  • O.V. Sobol', E.A. Sobol', A.A. Podtelezhnikov, S.T. Roshchenko. Functional Mater. 7, 2, 305 (2000)
  • L. Bardos, H. Barankova, L.-E. Gustavsson, D.G. Teer. Surf. Coat. Tech. 177--178, 651 (2004)
  • A.A. Koz'ma, O.V. Sobol', E.A. Sobol', S.S. Borisova, A.A. Podtelezhnikov. Functional Mater. 6, 2, 267 (1999)
  • J.A. Floro, E. Chason, R.C. Cammarata, D.J. Srolovitz. MRS Bull. 2, 19 (2002)
  • R.W. Hoffman. Thin Solid Films 34, 185 (1976)
  • W.D. Nix, B.M. Clemens. J. Mater. Res. 14, 3467 (1999)
  • L.B. Freund, E. Chason. J. Appl. Phys. 89, 4866 (2001)
  • C.V. Thompson. J. Mater. Res. 8, 237 (1993)
  • J. Musil, J. Suna. Mater. Sci. Forum 502, 291 (2005)
  • О.В. Соболь. В сб.: Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Харьков (2005). Т. 2. С. 209.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.