"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Нанесение эпитаксиальных пленок многокомпонентных соединений магнетронным распылением на примере YBa 2Cu 3O 7-delta
Сахаров Л.Г.1
1Институт проблем машиноведения РАН Санкт-Петербург
Поступила в редакцию: 2 июня 1992 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1993 г.

На примере моделирования переноса атомов мишени при магнетронном напылении высокотемпературного сверхпроводника Y1 Ba2 Cu3 O7-delta показана принципиальная возможность напыления многокомпонентных соединений при использовании следующих режимов: напыления из подшихтованной мишени на большом расстоянии магнетрон--подложка, внеосевого напыления и применения аэродинамического переноса при напылении при больших давлениях из стехиометрической мишени. Проанализирована зависимость качества осаждаемых пленок от термодинамических условий, в которых находится подложка при напылении и скорости нанесения на нее вещества.
  • Данилин Б.С. Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1991. Вып. 1(15). С. 55--99
  • Selider T.I., Larson G., Helmersson U. Supercond. Sci. and Technol. 1991. Vol. 4. N 1. P. 379--395
  • Selider T.I., Larson G., Helmersson U. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. N 1. P. 390--395
  • Yang Senzu, Wu Peiheng, Ji Zhemgining J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 5. P. 2308--2310
  • Uchiyama Tomoyuki, Suzuki Mitsumasa, Takahashi Kunii Cryog. Eng. 1990. Vol. 25. N 5. P. 46--52
  • Li H.C., Linker G., Ratzel F. Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 13. P. 1098--1100
  • Lee W.Y., Salem J., Lee V. Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 26. P. 2363--2365
  • Иванов А.А., Сахаров Л.Г. Проблемы механики и машиноведения. Тез. конф. молодых ученых ЛФИМАШ АН. 1989. Вып. 3. С. 13
  • Ерофеева Н.Т., Сахаров Л.Г. Нагревательный элемент для вакуумных установок. Л., 1991. N 215-91. 3 с
  • Готт Ю.В., Явлинский Ю.Н. Взаимодействие медленных частиц с веществом и диагностика плазмы. М., 1973. 129 с
  • Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М., 1989. 328 с
  • Eom C.B., Sun J.Z., Lairson B.M. Phys. C. 1990. Vol. 171. P. 354--382
  • Borman R., Nolting J. Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 54. N 24. P. 2148--2150
  • Yoshimi Kubo, Yokinobu Nakabayashi, Junji Tabuchi Jap. J. Appl. Phys. 1987. Vol. 26. N 11. P. L1887--L1891
  • Сахаров Л.Г. Процессы кристаллизации в системах анортит--геленит и геленит--двухкальцевый силикат. Дис. Л., 1984. 20 с
  • Румянцев П.Ф., Сахаров Л.Г. Строение и свойства силикатных и оксидных систем. Тез. докл. Братислава, 1986. С. 89--91
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.